交流电诱发铜互联体的热疲劳失效行为及微观分析

本文报道了铜互联体布线在交流电作用下产生的一种新的热疲劳失效行为,通过透射电子显微镜对热疲劳损伤部位的研究,并与纯机械疲劳载荷作用下的铜薄膜损伤行为进行比较,分析了铜互联体热疲劳损伤失效机理。