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大高宽比阶梯型铜微柱阵列的制作 被引量:1
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作者 杜立群 袁博文 +4 位作者 孔德健 王帅 蔡小可 王胜羿 肖海涛 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2023年第10期14-20,共7页
基于THB–151N光刻胶的微电铸工艺制作了一种阶梯型铜微柱阵列。针对THB–151N光刻胶显影过程中20μm微盲孔显影困难和底部留膜的问题,提出了一种基于浸没式双向兆声波辅助的显影方法。仿真研究了兆声功率密度和微盲孔深宽比对显影液传... 基于THB–151N光刻胶的微电铸工艺制作了一种阶梯型铜微柱阵列。针对THB–151N光刻胶显影过程中20μm微盲孔显影困难和底部留膜的问题,提出了一种基于浸没式双向兆声波辅助的显影方法。仿真研究了兆声功率密度和微盲孔深宽比对显影液传质过程的影响。优选了兆声功率密度和微盲孔深宽比,并开展了兆声辅助显影的试验研究。同时,针对THB–151N胶膜因曝光剂量选择不当导致微盲孔侧壁垂直度差的问题,通过光刻试验分析了曝光剂量对微盲孔侧壁垂直度的影响,拟合出曝光剂量与胶膜厚度的经验方程。在上述工艺方法和试验研究的基础上,制作出高度300μm、整体高宽比达15∶1、最小边长20μm、4×6的阶梯型铜微柱阵列。 展开更多
关键词 铜微柱阵列 紫外光刻 显影 电铸 兆声
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氯离子在局部电化学中对铜电沉积的影响
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作者 卿启新 黄炎光 +1 位作者 王晨 朱挺 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2024年第7期91-98,共8页
局部电化学沉积(LECD)制造金属微结构是一种非常便捷和经济的方法。用20μm直径微阳极来研究Cl^(-)浓度在LECD上对铜微柱形貌、直径、沉积速率等的影响。Cl^(-)使铜离子先还原为亚铜离子,然后再还原成铜,能促使铜微柱沉积速率提高,进而... 局部电化学沉积(LECD)制造金属微结构是一种非常便捷和经济的方法。用20μm直径微阳极来研究Cl^(-)浓度在LECD上对铜微柱形貌、直径、沉积速率等的影响。Cl^(-)使铜离子先还原为亚铜离子,然后再还原成铜,能促使铜微柱沉积速率提高,进而可调控铜微柱形貌质量,提高沉积效率。在铜还原过程中氯化亚铜会在铜微柱表面形成,并发生歧化反应,使铜微柱表面产生孔隙、粗糙形貌,而过高Cl^(-)浓度会形成氯化亚铜结晶,增大铜微柱直径。受高电流密度和高氢离子浓度影响,在铜微柱内部无法沉淀氯化亚铜。Cl^(-)浓度所对铜微柱形貌、沉积速率等的影响为Cl^(-)与其它添加剂在LECD上协同应用提供了参考。 展开更多
关键词 局部电化学沉积 Cl^(-)浓度 铜微柱 形貌 沉积速率
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Process mineralogy of copper-nickel sulphide flotation by a cyclonic-static micro-bubble flotation column 被引量:25
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作者 CAO Yi-jun GUI Xia-hui +3 位作者 MA Zi-long YU Xiao-xia CHEN Xiao-dong ZHANG Xiu-pin 《Mining Science and Technology》 EI CAS 2009年第6期784-787,共4页
In our study we investigated a refractory copper-nickel sulfide ore separation by using a cyclonic-static micro-bubble flotation column (FCSMC). The process mineralogy of the main products was studied. Using a scannin... In our study we investigated a refractory copper-nickel sulfide ore separation by using a cyclonic-static micro-bubble flotation column (FCSMC). The process mineralogy of the main products was studied. Using a scanning electron microscope-energy dispersive system (SEM-EDS) and an X-ray spectrometer the mineral category and content of samples were analyzed. By using a mineral liberation analyzer (MLA) the mineral liberation characteristics were revealed. It is shown that in roughing feed the monomers liberation degree of nickel pyrite and chalcopyrite take up 84.11% and 88.82%, respectively. In tailings, the lost nickel pyrite and chalcopyrite are mainly monomers. Therefore, strengthening the micro-fine particle recovery capacity is the key to increase recovery. 展开更多
关键词 cyclonic-static micro-bubble flotation column process mineralogy copper-nickel sulphide micro-fine particles
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