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GLSI多层铜互连阻挡层CMP中铜沟槽剩余厚度的控制 被引量:5
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作者 马腾达 刘玉岭 +2 位作者 杨盛华 徐奕 考政晓 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第11期847-851,共5页
GLSI铜布线阻挡层化学机械抛光(CMP)中铜沟槽剩余厚度(HCu)关系着集成电路的电性能,是集成电路制造工艺重要评定参数之一。使用不同配比的新型弱碱性抛光液对多层铜布线的阻挡层进行CMP,研究了抛光液中不同体积分数的螯合剂FA/OⅡ... GLSI铜布线阻挡层化学机械抛光(CMP)中铜沟槽剩余厚度(HCu)关系着集成电路的电性能,是集成电路制造工艺重要评定参数之一。使用不同配比的新型弱碱性抛光液对多层铜布线的阻挡层进行CMP,研究了抛光液中不同体积分数的螯合剂FA/OⅡ、氧化剂H2O2和抑菌剂BIT条件下对HCu的影响。结果表明,随着FA/OⅡ体积分数的增加,铜的去除速率(vCu)逐渐变大,当其体积分数增至3. 5%后,vCu呈略微下降态;加入H2O2可使vCu先迅速地增加,在其体积分数增至1. 5%后vCu开始下降。FA/OⅡ型螯合剂、H2O2在低体积分数时对铜均有强去除作用; BIT对铜的抑制作用较大,其体积分数的增加使得vCu不断减小。三者的协同作用实现了对HCu的有效控制。 展开更多
关键词 铜互连 阻挡层 化学机械抛光(CMP) 铜线条剩余厚度 铜去除速率
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阻挡层抛光中布线槽铜电阻R_s的控制机制研究 被引量:3
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作者 岳昕 刘玉岭 +2 位作者 王辰伟 郑环 李祥州 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期386-392,共7页
布线槽处铜线条的电阻Rs关系着集成电路的响应速度和芯片的电特性。阻挡层抛光的过程中会造成布线槽处铜线条电阻Rs的变化,为了实现Rs的变化可控,使用FA/O螯合剂和JFC活性剂进行实验测试和机制研究。测试结果表明布线槽铜线条电阻Rs的... 布线槽处铜线条的电阻Rs关系着集成电路的响应速度和芯片的电特性。阻挡层抛光的过程中会造成布线槽处铜线条电阻Rs的变化,为了实现Rs的变化可控,使用FA/O螯合剂和JFC活性剂进行实验测试和机制研究。测试结果表明布线槽铜线条电阻Rs的变化取决于铜线条厚度的大小,铜线条厚度的大小是由铜线条去除速率VCu决定的。对含有不同浓度FA/O螯合剂和JFC活性剂的抛光液进行电化学实验研究,结果表明螯合剂FA/O对Cu^2+有很强的螯合作用,可以促进抛光液对布线槽铜线条的化学作用,提高布线槽铜线条的去除速率VCu;活性剂JFC对布线槽铜线条表面有很强的钝化作用,可以抑制抛光液对布线槽铜线条的化学作用,减小布线槽铜线条的去除速率VCu。利用螯合剂FA/O的强螯合作用和活性剂JFC的强钝化作用实现了布线槽铜电阻Rs的控制。 展开更多
关键词 布线槽 铜线条 电阻 阻挡层 钝化层
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Formation of copper oxide nanowires and nanoparticles via electrospinning 被引量:1
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作者 CAI Ya Nan WANG Wu +3 位作者 CHEN Zhe YU Jian Gang CHEN AQing ZHU Kai Gui 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第4期612-616,共5页
Copper oxide nanowires and nanoparticles were fabricated through electrospinning followed by calcinations in different heating conditions.It was found that the solution viscosity and environment humidity had great imp... Copper oxide nanowires and nanoparticles were fabricated through electrospinning followed by calcinations in different heating conditions.It was found that the solution viscosity and environment humidity had great impact on the morphologies of precursor nanowires,and the parameters of heat treatment,including final temperature and heating rate,significantly affected the product morphologies. 展开更多
关键词 ELECTROSPINNING copper oxide nanowire copper oxide nanoparticle
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