新型水封式铜线退火炉

针对现有退火工艺设备能耗大、近火裸线质量不稳定等缺陷，研制开发了新型水封式退火炉。新型退火炉的外型结构类似于漆包机的退火炉，特点是：用走线管作为加热元件，传热环节少，电热转换效率比井式退火炉高１０倍以上；升温３０ｍｉｎ就可达５５０℃；有１２根走线管的新型退火炉的生产率约为８００ｋｇ容量井式退火炉的５倍；可用于直径为０．３～３．０ｍｍ圆单线及截面为０．１２￣１０ｍｍ２束绞线退火，退火产品光亮，无粘连、压线、物理机械性能不均的问题。用它取代井式退火炉和漆包机的退火炉，有良好的技术经济效益。

通用工艺与设备

Y2000-62185-9 0100370EKC265 处理寿命及衬垫上氟与碳的玷污=A study onEKC265 bath life and Fluorine & carbon contaminationon bond pads[会,英]/An.L.H.& Lai.K.K.//1998IEEE International Conference on Semiconductor Elec-tronics.—9～12(EC)Y2000-62185-80 0100371硅片背面薄膜对快速热氧化(RTO)生长的影响=Theeffect of backside films on rapid thermal oxidation(RTO)growth on silicon wafers[会,英]/Omar,A.B.