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激基激光对铜膜印刷板表面微细蚀刻的初期化过程 被引量：1
1
作者 吴鼎祥 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期762-764,共3页
用 Kr F激基激光 ,在稀释的 Cl2
关键词 激基激光 微细蚀刻 初期化过程 表面处理 铜膜印刷板
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