硅基聚合物AWG波分复用器研究

报道利用甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸缩水甘油酯共聚物研制AWG波分复用器，对其原理、设计及制作工艺进行了研究。设计出AWG版图，利用铝掩模技术及反应离子刻蚀工艺完成了聚合物AWG制作。实验结果证明，制备的波导实现了单模传输。

脊形聚合物光波导制备及理论分析

报道了利用铝膜作掩模 ,通过紫外光照射制备键合型聚合物DANS PMMA脊形光波导的新方法。所制备的聚合物脊形光波导 ,其形状与通常的脊形波导相同 ,但内部折射率又与矩形波导类似。从理论上推导出该脊形波导的模式本征值方程 ,并给出相应的归一化通用曲线 ,可以供相应波导设计和制备作为参考。

集成光学 光波导材料与制备

TN252 2005053604 制作聚台物光波导的铝掩模工艺=Aluminum mask for tabrication of polymeric optical waveguide[刊,中]／赵禹 (中兴通讯股份有限公司．广东,深圳(518057)),张大明… ∥半导体光电．-2005,26(3)．-208-211 针对聚合物波导制备中的关键技术-刻蚀掩模,进行 了系统的研究。以铝为例,利用原子力显微镜和光电子能 谱,详细地分析并讨论了在聚合物表面溅射镀铝对芯层波 导的影响。明确指出,溅射会在聚合物表面形成一层金属 包层,从而在器件中引入额外的吸收损耗并对此进行了计 算,同时给出解决的办法。最后,总结出最佳的工艺流程。 图5参21(于晓光)

聚合物阵列波导光栅复用器的研究

介绍了聚合物阵列波导光栅(AWG)复用器的基本原理,进而用Al掩模制做聚合物AWG光波导。结果表明:AWG器件的制做工艺,Al掩模技术明显优于厚胶掩模技术。用这种技术制备的器件,其结构指标与理论设计相符合而且波导在1.55μm处实现了单模传输。