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QAl9-2合金脱铝腐蚀的TEM研究 被引量:7
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作者 韩忠 赵晖 林海潮 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期428-432,共5页
针对QAl9 2合金在海洋环境中亚稳 β1相优先脱铝腐蚀的问题 ,利用TEM ,EDX以及XRD分析 ,对其发生脱铝和未发生脱铝的区域进行了细致的研究。结果表明 ,QAl9 2合金的脱铝腐蚀与亚稳 β1相的马氏体相变有关 ,腐蚀优先发生在相变产物片状 ... 针对QAl9 2合金在海洋环境中亚稳 β1相优先脱铝腐蚀的问题 ,利用TEM ,EDX以及XRD分析 ,对其发生脱铝和未发生脱铝的区域进行了细致的研究。结果表明 ,QAl9 2合金的脱铝腐蚀与亚稳 β1相的马氏体相变有关 ,腐蚀优先发生在相变产物片状 β′1相区 ,β′1马氏体相的优先腐蚀是由有序的DO3 结构及其内部存在的大量层错造成的。 展开更多
关键词 铜合金 铝腐蚀 TEM
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NiCoCrAlY/Al2O3-13%TiO2复合涂层的耐锌铝腐蚀性 被引量:2
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作者 李德元 徐涛 +1 位作者 张广伟 张楠楠 《沈阳工业大学学报》 EI CAS 北大核心 2019年第5期511-516,共6页
为了解决热镀锌铝工艺中沉没辊受到熔融锌铝液腐蚀的问题,采用超音速火焰喷涂技术在316L基体上制备了NiCoCrAlY粘结层,并利用等离子喷涂技术制备了NiCoCrAlY/Al 2O 3-13%TiO 2复合涂层.结果表明,复合涂层界面处的热膨胀系数突变减缓,使... 为了解决热镀锌铝工艺中沉没辊受到熔融锌铝液腐蚀的问题,采用超音速火焰喷涂技术在316L基体上制备了NiCoCrAlY粘结层,并利用等离子喷涂技术制备了NiCoCrAlY/Al 2O 3-13%TiO 2复合涂层.结果表明,复合涂层界面处的热膨胀系数突变减缓,使得界面处的应力集中减少,从而对裂纹扩展起到延缓和抑制作用,因而复合涂层的抗裂性能增强.复合涂层在锌铝液中的使用寿命可以达到9 d,高于传统Al 2O 3-13%TiO 2涂层.复合涂层的结合强度也高于传统Al 2O 3-13%TiO 2涂层,但复合涂层的最终失效形式依然是由两种材料的热胀系数不匹配所导致的涂层开裂. 展开更多
关键词 沉没辊 熔锌铝腐蚀 超音速火焰喷涂 等离子喷涂 NICOCRALY涂层 Al 2O 3-13%TiO 2涂层 复合涂层 失效机制
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全自动单晶圆铝腐蚀清洗机工艺原理与工作过程介绍 被引量:4
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作者 宋文超 陈仲武 +2 位作者 姚立新 张利军 王刚 《电子工业专用设备》 2013年第6期1-4,31,共5页
介绍了几种常用的晶圆金属铝膜腐蚀工艺,并详细讲解了全自动单晶圆铝腐蚀清洗机采用第四种工艺配方进行金属铝膜腐蚀清洗的工艺过程。同时,简单介绍了为提高腐蚀清洗效果而设计的两套子系统的工作原理。
关键词 半导体 铝腐蚀 单晶圆清洗 自动设备
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NiCr-Cr_3C_2陶瓷涂层在锌铝腐蚀中的失效分析 被引量:1
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作者 李德元 隋文龙 +1 位作者 黄鹤 张广伟 《辽宁石油化工大学学报》 CAS 2016年第3期58-62,共5页
运用超音速火焰喷涂技术在304不锈钢沉浸辊上喷涂NiCr-Cr_3C_2陶瓷涂层。将制备后的试样置于600℃铝质量分数为55%的熔融锌铝混合液中,并分析涂层在其中的腐蚀机理和失效过程。采用SEM观察了原始粉末的形态并对涂层被腐蚀前后的形貌进... 运用超音速火焰喷涂技术在304不锈钢沉浸辊上喷涂NiCr-Cr_3C_2陶瓷涂层。将制备后的试样置于600℃铝质量分数为55%的熔融锌铝混合液中,并分析涂层在其中的腐蚀机理和失效过程。采用SEM观察了原始粉末的形态并对涂层被腐蚀前后的形貌进行对比观察,采用EDS检测了NiCr-Cr_3C_2粉末的原始构成以及涂层被腐蚀后其中的元素变化。结果表明,NiCr-Cr_3C_2陶瓷涂层的孔隙率为2.9%,平均结合强度为82.76 MPa,显微维氏硬度的平均值为1 078.67HV。NiCr-Cr_3C_2陶瓷涂层在被沉浸1d后,在涂层中发现了元素构成的变化且有层次区分,NiCr-Cr_3C_2涂层失效原因是Ni-Cr基体被Zn溶解,导致了涂层溃散,涂层中的Cr_3C_2也同时失去保护作用,并漂移到Zn-Al熔体中。 展开更多
关键词 NiCr-Cr3C2 超音速火焰喷涂 涂层 液态锌铝腐蚀 溶解 失效机制
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半导体器件铝腐蚀的判别方法研究
5
作者 夏泓 江理东 +1 位作者 姚建廷 叶新全 《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心 1993年第4期58-60,共3页
半导体器件内部铝腐蚀是卫星用半导体器件主要的失效模式之一,快速准确地判断铝腐蚀具有重要意义。文章给出了判别方法和程序,并对方法中的关键技术进行研讨。
关键词 半导体器件 铝腐蚀 失效模式
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RIE模式干法刻蚀ADS产品铝腐蚀改善研究 被引量:3
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作者 蒋会刚 高建剑 +3 位作者 王晏酩 赵海生 王辉 吴超 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2017年第7期518-525,共8页
Full-in-cell(FIC)产品信号线SD层结构为Mo-Al-Mo结构,使用Reactive Ion Etching(RIE)模式干法刻蚀设备进行N+Etch时,氯的化合物会吸附在信号线中的Al线侧壁及光刻胶的表面,当玻璃基板离开刻蚀腔体接触到空气,遇到水分发生水解反应,对A... Full-in-cell(FIC)产品信号线SD层结构为Mo-Al-Mo结构,使用Reactive Ion Etching(RIE)模式干法刻蚀设备进行N+Etch时,氯的化合物会吸附在信号线中的Al线侧壁及光刻胶的表面,当玻璃基板离开刻蚀腔体接触到空气,遇到水分发生水解反应,对Al线造成腐蚀,严重影响产品特性。本文在RIE刻蚀模式腔体内采用刻蚀条件变更改善Al腐蚀现象,通过对刻蚀的前处理步骤,后处理步骤以及去静电步骤的参数包括压强、功率和时间以及气体流量比进行实验设计并对数据进行分析。实验结果表明当后处理步骤2 000 W,O_2/SF_6比例为2 000mL·min^(-1)/50mL·min^(-1),压强为200mt(1mt=0.133Pa),Time为15s为最优条件,可以彻底改善Al腐蚀现象。此条件TFT特性方面更加优越,Dark I_(on)为1.91μA,Photo I_(off)为4.1pA。 展开更多
关键词 铝腐蚀 TFT沟道 TFT特性 沟道厚度
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SCAL型间冷系统中碳钢腐蚀产物对铝腐蚀行为的影响 被引量:3
7
作者 肖海刚 黄万启 +3 位作者 汤自强 王刚 张洪博 苏玮 《腐蚀与防护》 CAS 北大核心 2019年第11期799-804,855,共7页
SCAL型(表面式凝汽器铝制散热器型)间接空冷系统中铝制散热器腐蚀破损会造成循环水泄漏,影响火电厂的稳定安全运行。为了减缓系统中材料的腐蚀速率,该系统使用除盐水作为循环水,但碳钢管道的腐蚀产物会污染循环水水质,而目前碳钢腐蚀产... SCAL型(表面式凝汽器铝制散热器型)间接空冷系统中铝制散热器腐蚀破损会造成循环水泄漏,影响火电厂的稳定安全运行。为了减缓系统中材料的腐蚀速率,该系统使用除盐水作为循环水,但碳钢管道的腐蚀产物会污染循环水水质,而目前碳钢腐蚀产物对铝腐蚀行为有何影响尚不清楚。通过现场挂样和实验室模拟试验等方法对该问题进行研究,结果表明,部分碳钢的腐蚀产物(γ-FeOOH和Fe3O4)会附着在铝管表面,加速铝管的腐蚀。 展开更多
关键词 SCAL型间接空冷系统 碳钢腐蚀产物 铝腐蚀 除盐水
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倒装芯片中铝腐蚀的红外显微镜观测研究 被引量:1
8
作者 卢基存 宗祥福 +1 位作者 吴建华 林添明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第10期906-910,共5页
倒装芯片(flip chip)是当前电子封装领域中的研究热点之一.本文利用新型的红外显微镜,在不破坏焊点的情况下,首次观测到一种倒装芯片封装器件经过稳态湿热试验后的铝腐蚀模式,并用一种有损失效分析的方法验证了红外显微... 倒装芯片(flip chip)是当前电子封装领域中的研究热点之一.本文利用新型的红外显微镜,在不破坏焊点的情况下,首次观测到一种倒装芯片封装器件经过稳态湿热试验后的铝腐蚀模式,并用一种有损失效分析的方法验证了红外显微镜的观测结果.实验发现。 展开更多
关键词 IC 倒装芯片 封装 红外显微镜 铝腐蚀
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混合电路铝腐蚀失效分析
9
作者 聂瑞霞 宋春梅 《理化检验(物理分册)》 CAS 2011年第3期184-186,共3页
通过理化检验和模拟试验对混合电路键合失效的原因进行了分析。结果表明:电路在生产和制造过程中,由于沾污和水气导致铝腐蚀。并针对故障现象和原因,阐述了铝腐蚀失效的机理,给出了控制电路沾污和水气的措施。
关键词 混合电路 铝腐蚀 沾污 水气
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F007模拟集成电路的铝腐蚀失效及改进前后的分析对比
10
作者 茅有福 张蓓榕 +2 位作者 忻佩胜 刘耀民 卢炽宝 《华东师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1990年第3期35-44,共10页
在对铝腐蚀失效因素分析的基础上,针对工艺、材料、钝化、封装气氛等几方面提出措施,并在单项试验取得成效后,再应用于F007模拟集成电路的生产过程。经过加速寿命对比试验和对试验后样品的观察分析,表明铝腐蚀失效得到了有效防止,改进... 在对铝腐蚀失效因素分析的基础上,针对工艺、材料、钝化、封装气氛等几方面提出措施,并在单项试验取得成效后,再应用于F007模拟集成电路的生产过程。经过加速寿命对比试验和对试验后样品的观察分析,表明铝腐蚀失效得到了有效防止,改进后产品的中位寿命比原产品约有一个数量级的提高。 展开更多
关键词 模拟集成电路 铝腐蚀 芯片粘接剂
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腐蚀基本知识(一)铝腐蚀与釜抗疤
11
作者 余存烨 《石油化工腐蚀与防护》 CAS 1992年第1期63-66,共4页
自本期开始,《腐蚀基本知识》步入石油化工、化纤范畴。该期应用铝的腐蚀来防止丙烯腈水相聚合釜的结疤问题,以此为例,将石油化工设备选材原则与各种防腐措施、电位—pH图、阳极极化曲线、阴阳极反应、微电池腐蚀、宏电池腐蚀等一些石... 自本期开始,《腐蚀基本知识》步入石油化工、化纤范畴。该期应用铝的腐蚀来防止丙烯腈水相聚合釜的结疤问题,以此为例,将石油化工设备选材原则与各种防腐措施、电位—pH图、阳极极化曲线、阴阳极反应、微电池腐蚀、宏电池腐蚀等一些石油化工腐蚀最基本知识,融汇贯通,加以发挥与应用。 展开更多
关键词 腐蚀 知识 铝腐蚀 釜抗疤
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果汁警卫抵抗铝腐蚀
12
《工业设计》 2012年第10期19-19,共1页
常见枣椰树水果提取出的果汁可能被变为更绿色的方式去更好的防止铝合金腐蚀,轻质的铝合金曾用来做飞机,罐头和机器设备。由土耳其Duzce大学所开发的提取物可以取代潜在有毒化学物质的防腐涂层。虽然铝的本身的氧化物层可以使它自然... 常见枣椰树水果提取出的果汁可能被变为更绿色的方式去更好的防止铝合金腐蚀,轻质的铝合金曾用来做飞机,罐头和机器设备。由土耳其Duzce大学所开发的提取物可以取代潜在有毒化学物质的防腐涂层。虽然铝的本身的氧化物层可以使它自然的耐腐蚀,可它会在特殊的环境中被腐蚀。例如海水。加工过的铝-锌-镁-铀AA7000合金通常承重结构和其他结构要求航天应用是尤其容易受金属间相而局部腐蚀的。 展开更多
关键词 铝腐蚀 果汁 合金腐蚀 有毒化学物质 承重结构 机器设备 防腐涂层 局部腐蚀
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某型船海水冷却系统蝶阀腐蚀机理分析及改进措施
13
作者 涂永彬 赵洁 +2 位作者 李胜 李洋 张伟程 《船海工程》 北大核心 2024年第3期64-68,73,共6页
为了确定某型船蝶阀严重腐蚀原因,对所在系统进行整体分析,总结归纳当前船舶海水冷却系统腐蚀机理及防腐措施。通过系统分析、宏观检查、化学成分检验、金相组织观察,以及扫描电镜观察,分析腐蚀原因,确定产生腐蚀的关键因素为该蝶阀阀... 为了确定某型船蝶阀严重腐蚀原因,对所在系统进行整体分析,总结归纳当前船舶海水冷却系统腐蚀机理及防腐措施。通过系统分析、宏观检查、化学成分检验、金相组织观察,以及扫描电镜观察,分析腐蚀原因,确定产生腐蚀的关键因素为该蝶阀阀盘在热处理过程中冷却速度控制不当,产生亚稳态组织,在海水冷却系统中发生脱成分腐蚀和氧化腐蚀。在后续船舶设计建造过程中,从管路及附件材质要求、海水设计流速、系统工艺设计、管子制造工艺,以及防海生物等方面,给出海水冷却系统防腐的改进措施和系统方案,实船应用效果良好。 展开更多
关键词 海水冷却系统 蝶阀 腐蚀机理 防腐措施 铝腐蚀
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盐浴氮化+氧化和QPQ处理对H13模具钢抗铝液腐蚀性能的影响
14
作者 窦靖杰 陈广 王均 《热加工工艺》 北大核心 2023年第6期88-91,97,共5页
H13模具钢作为铝型材的成型模具常被高温铝液腐蚀而失效。研究了盐浴氮化+氧化和QPQ处理工艺对H13模具钢抗铝液腐蚀性能的影响。使用SEM和XRD对比分析处理前后试样的显微组织,使用维氏硬度计分析铝液腐蚀前后渗层的硬度变化。结果表明,... H13模具钢作为铝型材的成型模具常被高温铝液腐蚀而失效。研究了盐浴氮化+氧化和QPQ处理工艺对H13模具钢抗铝液腐蚀性能的影响。使用SEM和XRD对比分析处理前后试样的显微组织,使用维氏硬度计分析铝液腐蚀前后渗层的硬度变化。结果表明,两种处理后在试样表面都形成了致密的Fe_(3)O_(4)氧化层和氮化层。经过高温铝液腐蚀后基体和渗氮层的硬度都有一定程度的下降,而渗氮层的硬度(600.9 HV0.1)仍然比基体的硬度(301.8 HV0.1)高1倍左右。腐蚀后,试样表面的致密氧化膜仍然存在,并且铝液失重率下降了90%以上,表明两种表面处理获得的试样的抗铝液腐蚀性能较好。同时,盐浴氮化+氧化工艺对优化H13钢的硬度和抗铝液侵蚀能力更为明显。 展开更多
关键词 H13模具钢 盐浴氮化+氧化 QPQ处理 腐蚀
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水基乳化液润滑冷轧1100铝板表面腐蚀分析 被引量:2
15
作者 王文霞 林海晨 《轻合金加工技术》 CAS 北大核心 2011年第3期21-24,33,共5页
生产现场发现水基乳化液润滑冷轧铝及铝合金板,沿着轧制方向板材边缘的上、下表面几乎对应地出现明显的白色腐蚀条纹。试验以冷轧1100纯铝板为研究对象,采用SEM,XPS等测试分析手段对其表面腐蚀成分及腐蚀机理进行研究。试验研究结果表明... 生产现场发现水基乳化液润滑冷轧铝及铝合金板,沿着轧制方向板材边缘的上、下表面几乎对应地出现明显的白色腐蚀条纹。试验以冷轧1100纯铝板为研究对象,采用SEM,XPS等测试分析手段对其表面腐蚀成分及腐蚀机理进行研究。试验研究结果表明,铝材腐蚀面的成分是AlOOH。 展开更多
关键词 冷轧 铝腐蚀 水基乳化液
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塑封集成电路封装芯片压区铝层腐蚀问题探讨 被引量:4
16
作者 周金成 李亚斌 李习周 《中国集成电路》 2016年第8期57-62,共6页
本文分析和总结了集成电路封装中引起芯片压区铝层腐蚀而造成产品可靠性问题的各种原因,并提出了解决方法。分析了环境、材料、工艺等对压区铝层成份变化的影响,研究了不同环境、放置时间、材料对压区铝层氧化和腐蚀的影响,确定了防止... 本文分析和总结了集成电路封装中引起芯片压区铝层腐蚀而造成产品可靠性问题的各种原因,并提出了解决方法。分析了环境、材料、工艺等对压区铝层成份变化的影响,研究了不同环境、放置时间、材料对压区铝层氧化和腐蚀的影响,确定了防止压区铝层氧化和腐蚀的最有效措施及改善方法。最后,通过实验对比及生产跟踪证实了所述措施与方法的有效性。 展开更多
关键词 封装 铝腐蚀 水汽 卤族
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石墨形态对铸铁在铝液中耐腐蚀性的影响 被引量:10
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作者 高占勇 张金龙 +2 位作者 武文霞 范秉源 赵团 《铸造》 CAS CSCD 北大核心 2009年第9期937-939,共3页
运用微观分析和失重法研究了球墨铸铁和耐铝液腐蚀铸铁在铝液中的耐腐蚀机理。试验结果表明,铸铁在铝液中的腐蚀是由于铝原子在铸铁基体中扩散并形成铁铝金属间化合物,进而剥落溶解,造成铸铁的腐蚀。其中,石墨形态是铸铁腐蚀性能优劣的... 运用微观分析和失重法研究了球墨铸铁和耐铝液腐蚀铸铁在铝液中的耐腐蚀机理。试验结果表明,铸铁在铝液中的腐蚀是由于铝原子在铸铁基体中扩散并形成铁铝金属间化合物,进而剥落溶解,造成铸铁的腐蚀。其中,石墨形态是铸铁腐蚀性能优劣的关键因素,交织成网状结构的片状石墨对铝原子的扩散有最强的阻碍作用,在铸铁表面形成的石墨、碳化物和Fe-Al金属间化合物界面提高了铸铁的耐腐蚀性能。 展开更多
关键词 铸铁 腐蚀 显微组织 石墨形态
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Co-Mo-Cr-Si合金组织及其耐铝液腐蚀性能 被引量:4
18
作者 刘永雄 陈欣 +3 位作者 尹付成 欧林方 李智 赵满秀 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第10期2033-2042,共10页
通过扫描电子显微镜和能谱仪(SEM-EDS)以及X射线衍射仪(XRD)等研究不同含量的Mo、Cr和Si对Co-Mo-Cr-Si合金的组织及其700℃耐铝液腐蚀性能的影响。结果表明:在实验范围内,当w(Si)<2.8%时,基体为FCC-Co;而当w(Si)≥2.8%时,基体转变为H... 通过扫描电子显微镜和能谱仪(SEM-EDS)以及X射线衍射仪(XRD)等研究不同含量的Mo、Cr和Si对Co-Mo-Cr-Si合金的组织及其700℃耐铝液腐蚀性能的影响。结果表明:在实验范围内,当w(Si)<2.8%时,基体为FCC-Co;而当w(Si)≥2.8%时,基体转变为HCP-Co。随Mo和Si含量增加,Laves相比例增加。在本工作中CoMo4Cr23.8Si0.6合金耐腐蚀性能最好,但由于是单一的固溶体相,基体很软。具有高硬度的CoMo28.5Cr16.7Six合金随着Si含量的增加,其硬度随之增加,耐腐蚀性也随之提高,腐蚀产物主要是(Co,Mo,Cr)2Al9和(Cr,Mo)7Al45。Mo含量较多时主要生成(Mo,Cr)Al5,Cr元素含量较多时主要生成(Cr,Mo)2Al13。 展开更多
关键词 Co-Mo-Cr-Si合金 组织 腐蚀
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H13钢耐铝液腐蚀表面处理的研究进展 被引量:5
19
作者 罗洪峰 史留勇 林茂 《铸造技术》 CAS 北大核心 2017年第3期493-496,506,共5页
H13钢具有良好的热强性、红硬性、较高的韧性和抗热疲劳性能,被广泛用于铝合金压铸模及挤压铸模。然而使用中常因H13钢耐铝液腐蚀性能不足,导致模具提前失效,并造成铝液污染。表面处理可显著提高H13钢的耐铝液腐蚀性能。目前对H13钢耐... H13钢具有良好的热强性、红硬性、较高的韧性和抗热疲劳性能,被广泛用于铝合金压铸模及挤压铸模。然而使用中常因H13钢耐铝液腐蚀性能不足,导致模具提前失效,并造成铝液污染。表面处理可显著提高H13钢的耐铝液腐蚀性能。目前对H13钢耐铝液腐蚀表面处理的研究主要集中于化学热处理及表面涂层。通过总结国内外的研究成果,分析了各种化学热处理技术及表面涂层工艺,对其制备、耐铝液腐蚀性能和应用情况等进行了阐述,同时也展望了提升H13钢耐铝液腐蚀性能表面处理的研究趋势。 展开更多
关键词 H13 表面处理 腐蚀性能
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Si、Sn、Mg对Q235钢在铝浴中腐蚀行为的影响 被引量:1
20
作者 王晓亮 古缘 +2 位作者 刘忆 鲍亚楠 杨绍斌 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期42-46,共5页
为降低钢在铝液中的腐蚀,通过对比纯铝、Al-Si、Al-Sn、Al-Mg铝合金熔体静态腐蚀作用下Q235钢/熔体界面的结构、形貌和腐蚀速率,研究了Si、Sn、Mg元素对Q235在铝合金熔体中静态腐蚀的影响。结果表明:Q235在不同铝合金熔体中均发生腐蚀,... 为降低钢在铝液中的腐蚀,通过对比纯铝、Al-Si、Al-Sn、Al-Mg铝合金熔体静态腐蚀作用下Q235钢/熔体界面的结构、形貌和腐蚀速率,研究了Si、Sn、Mg元素对Q235在铝合金熔体中静态腐蚀的影响。结果表明:Q235在不同铝合金熔体中均发生腐蚀,表面均形成Fe_2Al_5金属间化合物层,在铝液中添加Si可以使形成的Fe_2Al_5层由舌状转变为平板状,减小Fe_2Al_5层厚度,并显著减缓腐蚀速率;添加Sn和Mg不改变Fe_2Al_5层的形态和厚度,减缓腐蚀速率效果不如Si显著;Si、Sn、Mg不改变Fe_2Al_5择优生长的特点;Si降低腐蚀速率的机制是阻塞Fe_2Al_5空位孔道抑制原子扩散;Sn、Mg降低腐蚀速率的机制是占位阻隔减缓扩散速率。 展开更多
关键词 SI SN Mg 腐蚀 Fe2Al5 Q235钢
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