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提高玻壳铝膜质量的粗浅看法
1
作者
裘五一
《灯与照明》
1995年第3期16-16,共1页
提高玻壳铝膜质量的粗浅看法裘五一(杭州灯泡厂)真空镀铝是电光源生产中常用的工艺之一。电光源科技工作者为提高铝膜的质量曾经进行了许多试验和探索,使这一工艺逐渐成熟,我们也从中得到借鉴和教益。过去我厂的真空镀铝是采用手工...
提高玻壳铝膜质量的粗浅看法裘五一(杭州灯泡厂)真空镀铝是电光源生产中常用的工艺之一。电光源科技工作者为提高铝膜的质量曾经进行了许多试验和探索,使这一工艺逐渐成熟,我们也从中得到借鉴和教益。过去我厂的真空镀铝是采用手工长排车,多年的生产实践所取得的经验...
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关键词
灯
玻壳
铝膜质量
下载PDF
职称材料
具有大面积均匀性、高质量的大尺寸中阶梯光栅铝膜的研究
被引量:
2
2
作者
李资政
杨海贵
+1 位作者
王笑夷
高劲松
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第15期388-393,共6页
大尺寸中阶梯光栅具有大孔径和极高的衍射级次,可以实现普通光栅难以达到的极高光谱分辨率,而制备大面积均匀性的高质量铝膜是实现高性能大尺寸中阶梯光栅的关键因素.本文首次详细报道了具有大面积均匀性、高质量的大尺寸中阶梯光栅铝...
大尺寸中阶梯光栅具有大孔径和极高的衍射级次,可以实现普通光栅难以达到的极高光谱分辨率,而制备大面积均匀性的高质量铝膜是实现高性能大尺寸中阶梯光栅的关键因素.本文首次详细报道了具有大面积均匀性、高质量的大尺寸中阶梯光栅铝膜的制备工艺.首先通过理论计算模拟了蒸镀过程中蒸发源的位置、发射特性以及夹具高度对铝膜均匀性的影响,然后研究了关键的蒸发工艺参数,例如蒸发速率、蒸发高度等对铝膜均匀性和铝膜质量的影响,最后在最佳化的蒸发工艺条件下,成功制备出满足大尺寸中阶梯光栅用的在直径700 mm范围内的均匀性小于1%、厚度大于10μm的高质量铝膜.
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关键词
中阶梯光栅
高
质量
铝
膜
大面积均匀性
表面粗糙度
原文传递
题名
提高玻壳铝膜质量的粗浅看法
1
作者
裘五一
机构
杭州灯泡厂
出处
《灯与照明》
1995年第3期16-16,共1页
文摘
提高玻壳铝膜质量的粗浅看法裘五一(杭州灯泡厂)真空镀铝是电光源生产中常用的工艺之一。电光源科技工作者为提高铝膜的质量曾经进行了许多试验和探索,使这一工艺逐渐成熟,我们也从中得到借鉴和教益。过去我厂的真空镀铝是采用手工长排车,多年的生产实践所取得的经验...
关键词
灯
玻壳
铝膜质量
分类号
TM923.303 [电气工程—电力电子与电力传动]
下载PDF
职称材料
题名
具有大面积均匀性、高质量的大尺寸中阶梯光栅铝膜的研究
被引量:
2
2
作者
李资政
杨海贵
王笑夷
高劲松
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室
中国科学院大学
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第15期388-393,共6页
基金
国家重大科研装备研制基金(批准号:ZBY2008-1)
国家自然科学基金(批准号:61306125)
+1 种基金
吉林省科技发展计划项目(批准号:Y3453UM130)
吉林省留学人员科技创新创业项目(批准号:Y3293UM130)资助的课题~~
文摘
大尺寸中阶梯光栅具有大孔径和极高的衍射级次,可以实现普通光栅难以达到的极高光谱分辨率,而制备大面积均匀性的高质量铝膜是实现高性能大尺寸中阶梯光栅的关键因素.本文首次详细报道了具有大面积均匀性、高质量的大尺寸中阶梯光栅铝膜的制备工艺.首先通过理论计算模拟了蒸镀过程中蒸发源的位置、发射特性以及夹具高度对铝膜均匀性的影响,然后研究了关键的蒸发工艺参数,例如蒸发速率、蒸发高度等对铝膜均匀性和铝膜质量的影响,最后在最佳化的蒸发工艺条件下,成功制备出满足大尺寸中阶梯光栅用的在直径700 mm范围内的均匀性小于1%、厚度大于10μm的高质量铝膜.
关键词
中阶梯光栅
高
质量
铝
膜
大面积均匀性
表面粗糙度
Keywords
echelle grating; high-quality aluminum film; large-area uniformity; surface roughness
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
提高玻壳铝膜质量的粗浅看法
裘五一
《灯与照明》
1995
0
下载PDF
职称材料
2
具有大面积均匀性、高质量的大尺寸中阶梯光栅铝膜的研究
李资政
杨海贵
王笑夷
高劲松
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
原文传递
已选择
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引证文献
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