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点火黑腔用铝铜复合芯轴的制备及性能 被引量:1
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作者 赵利平 邢丕峰 +4 位作者 杨蒙生 郑凤成 易泰民 谢军 袁光辉 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3255-3258,共4页
选取纯度较高的1100铝棒作为加工模芯的原材料,利用金刚石车床精加工出表面粗糙度均方根值小于20nm的铝模芯,采用磁控溅射的方法在铝模芯上制备厚度大于5μm的铜防护层,得到铝铜复合芯轴。对制备的铜防护层的表面微观结构、结晶性能、... 选取纯度较高的1100铝棒作为加工模芯的原材料,利用金刚石车床精加工出表面粗糙度均方根值小于20nm的铝模芯,采用磁控溅射的方法在铝模芯上制备厚度大于5μm的铜防护层,得到铝铜复合芯轴。对制备的铜防护层的表面微观结构、结晶性能、厚度一致性进行了分析测试,结果表明磁控溅射法制备的铜防护层沿(111)面择优生长,表面粗糙度均方根值小于30nm,厚度一致性优于95%,圆柱度小于1μm。镀层与基底结合力强,可满足大厚度黑腔涂层的制备需求。 展开更多
关键词 惯性约束聚变 铝铜复合芯轴 磁控溅射 表面粗糙度 结晶性能
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