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1.3μm无致冷AlGaInAs/InP应变补偿量子阱激光器设计与制作 被引量:3
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作者 马宏 易新建 +2 位作者 金锦炎 杨新民 李同宁 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期191-195,共5页
基于半导体量子阱激光器的基本理论 ,设计了合理的 1 .3 μm无致冷 Al Ga In As/ In P应变补偿量子阱激光器结构 ,通过低压金属有机化学气相外延 ( LP-MOVPE)工艺在国内首次生长出了高质量的 Al Ga In As/ In P应变补偿量子阱结构材料 ... 基于半导体量子阱激光器的基本理论 ,设计了合理的 1 .3 μm无致冷 Al Ga In As/ In P应变补偿量子阱激光器结构 ,通过低压金属有机化学气相外延 ( LP-MOVPE)工艺在国内首次生长出了高质量的 Al Ga In As/ In P应变补偿量子阱结构材料 ,用此材料制作的器件指标为激射波长 :1 2 80 nm≤λ≤ 1 3 2 0 nm,阈值电流 :Ith( 2 5℃ )≤ 1 5m A,Ith( 85℃ )≤ 3 0 m A,量子效率变化 :Δηex( 2 5℃~ 85℃ )≤ 1 .0 d B,线性功率 :P0 ≥ 1 0 m 展开更多
关键词 ALGAINAS 应变补偿 量子阱 低压金属有机化学气相外延 半导体激光器 设计 制作 致冷器 铝镓铟砷化合物
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