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不同镀膜温度下离子镀TiN与Cr/Cu接触界面形成与表面特性
1
作者
徐富春
王水菊
+4 位作者
林秀华
倪子绵
薛茹
汤丁亮
刘新
《厦门大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第3期306-310,共5页
使用多弧离子镀在铜基镀Cr的衬底上制备TiN薄膜 ,借助表面分析技术研究了不同温度下离子镀TiN与Cr/Cu接触的界面与表面性质 .通过SEM、TEM观测表面形貌 ,微结构随温度变化 ;用AES和XPS测量接触界面成分随温度的变化 .结果表明 ,在 90℃...
使用多弧离子镀在铜基镀Cr的衬底上制备TiN薄膜 ,借助表面分析技术研究了不同温度下离子镀TiN与Cr/Cu接触的界面与表面性质 .通过SEM、TEM观测表面形貌 ,微结构随温度变化 ;用AES和XPS测量接触界面成分随温度的变化 .结果表明 ,在 90℃下 ,表面TiN薄膜欠均匀 ,界面较清晰可辨 ;随着温度的升高 ,表面微结晶性能有所改善 ,在 170℃时可见局部球聚隆起 ,出现粗细不同的类枝状结晶结构 ,此时TiN与Cr/Cu界面层增厚 ,形成较为稳定的Ti Cr金属间化合物 .TiN薄膜在金属衬底上的生长行为与衬底表面的原子结构、晶向 ,以及TiN与金属间的电荷转移和键合状况有关 ,适当的衬底温度 (12 0℃ )可以改变TiN形貌 ,改善其机械性能 .
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关键词
镀膜温度
表面特性
多弧离子镀
TIN
Cr/Cu
接触界面
氮化钛薄膜
铬/铜合金
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职称材料
题名
不同镀膜温度下离子镀TiN与Cr/Cu接触界面形成与表面特性
1
作者
徐富春
王水菊
林秀华
倪子绵
薛茹
汤丁亮
刘新
机构
厦门大学分析测试中心
厦门大学物理学系
出处
《厦门大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第3期306-310,共5页
基金
福建省自然科学基金资助项目 (F0 0 10 0 1)
文摘
使用多弧离子镀在铜基镀Cr的衬底上制备TiN薄膜 ,借助表面分析技术研究了不同温度下离子镀TiN与Cr/Cu接触的界面与表面性质 .通过SEM、TEM观测表面形貌 ,微结构随温度变化 ;用AES和XPS测量接触界面成分随温度的变化 .结果表明 ,在 90℃下 ,表面TiN薄膜欠均匀 ,界面较清晰可辨 ;随着温度的升高 ,表面微结晶性能有所改善 ,在 170℃时可见局部球聚隆起 ,出现粗细不同的类枝状结晶结构 ,此时TiN与Cr/Cu界面层增厚 ,形成较为稳定的Ti Cr金属间化合物 .TiN薄膜在金属衬底上的生长行为与衬底表面的原子结构、晶向 ,以及TiN与金属间的电荷转移和键合状况有关 ,适当的衬底温度 (12 0℃ )可以改变TiN形貌 ,改善其机械性能 .
关键词
镀膜温度
表面特性
多弧离子镀
TIN
Cr/Cu
接触界面
氮化钛薄膜
铬/铜合金
Keywords
multi arc ion plating
TiN
Cr/Cu
surface characters
contact interface
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
不同镀膜温度下离子镀TiN与Cr/Cu接触界面形成与表面特性
徐富春
王水菊
林秀华
倪子绵
薛茹
汤丁亮
刘新
《厦门大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2002
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职称材料
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