Co-Zr/Pd多层膜的磁性与结构

ＣｏＺｒ／Ｐｄ多层膜由高频溅射方法制得．磁性合金ＣｏＺｒ层厚度固定为１８ｎｍ，改变Ｐｄ层厚度０５—６ｎｍ．由振动样品磁强计测量，发现随Ｐｄ层厚度增加，磁化强度发生周期性振荡变化，周期约为１ｎｍ，这是由Ｐｄ层的极化振荡引起的．经Ｘ射线衍射测得Ｐｄ层厚度超过１３ｎｍ时，磁性合金ＣｏＺｒ层发生晶化，而厚的ＣｏＺｒ单层膜是非晶结构．Ｘ射线大角衍射图中的超晶格峰表明，在ＣｏＺｒ层和Ｐｄ层之间存在相关生长．而且还发现，随Ｐｄ层厚度增加，样品在垂直膜面方向的晶粒尺寸及ｆｃｃ（１１１）面的面间距发生周期性振荡现象．