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银辅助刻蚀单晶硅
被引量:
1
1
作者
李川
王明召
《化学教育》
CAS
北大核心
2014年第8期6-8,共3页
结合高中化学原电池、氧化还原反应以及银镜反应等知识,介绍两种沉积银粒子辅助刻蚀单晶硅技术的基本原理,供一线高中化学教师用于扩展高中生的化学知识,帮助学生了解化学前沿.
关键词
高中化学
单晶硅
银辅助刻蚀
物理沉积
化学沉积
下载PDF
职称材料
银辅助化学刻蚀法制作硅纳米线的关键工序研究
2
作者
王圣坤
苑伟政
何洋
《化学工程师》
CAS
2013年第4期5-7,14,共4页
本文通过实验发现,硅片表面的洁净度和合适的刻蚀液浓度是成功应用银辅助化学刻蚀法制作硅纳米线的关键。总结出针对该法的一种性能可靠的简单清洗工艺。通过配制不同浓度的刻蚀液发现AgNO3的浓度在0.008-0.016mol·L-1范围内,HF浓...
本文通过实验发现,硅片表面的洁净度和合适的刻蚀液浓度是成功应用银辅助化学刻蚀法制作硅纳米线的关键。总结出针对该法的一种性能可靠的简单清洗工艺。通过配制不同浓度的刻蚀液发现AgNO3的浓度在0.008-0.016mol·L-1范围内,HF浓度从4.0-5.5mol·L-1范围内可以成功制作出硅纳米线。
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关键词
银
辅助
化学
刻蚀
法
化学
刻蚀
法
硅纳米线
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职称材料
化学刻蚀两步法制备硅纳米线(英文)
被引量:
2
3
作者
李常青
周婷婷
+1 位作者
梅欣丽
任晨星
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期495-497,502,共4页
采用化学刻蚀两步法制备硅纳米线。在制作过程的不同阶段,通过金相显微镜,扫描电子显微镜及透射电子显微镜分别对其表面形态进行观察。结果表明,通过两步法制作的硅纳米线比传统刻蚀方法制作的样品具有更细的直径。光致发光的测量结果表...
采用化学刻蚀两步法制备硅纳米线。在制作过程的不同阶段,通过金相显微镜,扫描电子显微镜及透射电子显微镜分别对其表面形态进行观察。结果表明,通过两步法制作的硅纳米线比传统刻蚀方法制作的样品具有更细的直径。光致发光的测量结果表明,两步法制备的硅纳米线在可见光领域有较强的红光发射。
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关键词
硅纳米线
银
辅助
化学
刻蚀
扫描电子显微镜
光致发光
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职称材料
题名
银辅助刻蚀单晶硅
被引量:
1
1
作者
李川
王明召
机构
北京师范大学化学学院
出处
《化学教育》
CAS
北大核心
2014年第8期6-8,共3页
基金
国家级精品资源共享课程建设项目(102-135003)
北京市精品课程建设项目(102-105815)
北京师范大学教学建设与改革项目(12-07-05)
文摘
结合高中化学原电池、氧化还原反应以及银镜反应等知识,介绍两种沉积银粒子辅助刻蚀单晶硅技术的基本原理,供一线高中化学教师用于扩展高中生的化学知识,帮助学生了解化学前沿.
关键词
高中化学
单晶硅
银辅助刻蚀
物理沉积
化学沉积
Keywords
high school chemistry
single crystal silicon
silver-assisted etching
physical deposition
chemical deposition
分类号
G634.8 [文化科学—教育学]
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职称材料
题名
银辅助化学刻蚀法制作硅纳米线的关键工序研究
2
作者
王圣坤
苑伟政
何洋
机构
西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室
出处
《化学工程师》
CAS
2013年第4期5-7,14,共4页
基金
国家自然科学基金青年基金(51005187)
航空科学基金(2011ZE53055)
西北工业大学基础研究基金(JC200826)资助项目
文摘
本文通过实验发现,硅片表面的洁净度和合适的刻蚀液浓度是成功应用银辅助化学刻蚀法制作硅纳米线的关键。总结出针对该法的一种性能可靠的简单清洗工艺。通过配制不同浓度的刻蚀液发现AgNO3的浓度在0.008-0.016mol·L-1范围内,HF浓度从4.0-5.5mol·L-1范围内可以成功制作出硅纳米线。
关键词
银
辅助
化学
刻蚀
法
化学
刻蚀
法
硅纳米线
Keywords
silver assisted electrochemical method
electrochemical method
silicon nanowires
SiNWs
分类号
TN304.14 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
化学刻蚀两步法制备硅纳米线(英文)
被引量:
2
3
作者
李常青
周婷婷
梅欣丽
任晨星
机构
郑州大学信息工程学院
郑州大学材料工程学院
出处
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期495-497,502,共4页
基金
supported by the National Natural Science Foundation of China(60678045)
文摘
采用化学刻蚀两步法制备硅纳米线。在制作过程的不同阶段,通过金相显微镜,扫描电子显微镜及透射电子显微镜分别对其表面形态进行观察。结果表明,通过两步法制作的硅纳米线比传统刻蚀方法制作的样品具有更细的直径。光致发光的测量结果表明,两步法制备的硅纳米线在可见光领域有较强的红光发射。
关键词
硅纳米线
银
辅助
化学
刻蚀
扫描电子显微镜
光致发光
Keywords
silicon nanowires
silver-assisted chemical etching
SEM
photoluminescence
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
银辅助刻蚀单晶硅
李川
王明召
《化学教育》
CAS
北大核心
2014
1
下载PDF
职称材料
2
银辅助化学刻蚀法制作硅纳米线的关键工序研究
王圣坤
苑伟政
何洋
《化学工程师》
CAS
2013
0
下载PDF
职称材料
3
化学刻蚀两步法制备硅纳米线(英文)
李常青
周婷婷
梅欣丽
任晨星
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2013
2
下载PDF
职称材料
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