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链式氧化制备SiO_2膜的研究 被引量:1
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作者 张松 席曦 +3 位作者 王振交 唐宁 季静佳 李果华 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期240-244,共5页
研究了应用链式扩散设备对经过制绒、清洗、扩散和刻蚀处理后的单晶P型硅片进行热氧化SiO2膜的生长。采用准稳态光电导衰减法(QSSPC)在室温条件下对氧化前后硅片的少子寿命进行测试,探讨了氧化工艺条件对少子寿命、SiO2薄膜质量的影响机... 研究了应用链式扩散设备对经过制绒、清洗、扩散和刻蚀处理后的单晶P型硅片进行热氧化SiO2膜的生长。采用准稳态光电导衰减法(QSSPC)在室温条件下对氧化前后硅片的少子寿命进行测试,探讨了氧化工艺条件对少子寿命、SiO2薄膜质量的影响机理,并对氧化工艺进行了优化。实验结果表明:在氧气流量为20L/min,带速为13i/m,氧化工艺区阶梯式温度设置为600、800、800、800、800、800、850和900℃时,链式氧化后硅片少子寿命达到42.5μs,SiO2膜的厚度适合,结构致密;在不影响减反效果的情况下,获得了良好的钝化效果。 展开更多
关键词 硅太阳电池 链式氧化 SIO2膜 少子寿命 钝化
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ABO_(3)载氧体A/B位金属对乙烷化学链氧化制乙烯性能影响实验研究
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作者 杨仲卿 牛浩男 +2 位作者 唐波 李秀权 冉景煜 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第15期6086-6094,I0021,共10页
钙钛矿载氧体因其低廉的成本、A/B位掺杂金属的灵活多变、优良的氧储存释放性能而受到关注,被广泛应用于化学链式氧化反应中制备乙烯。该文采用柠檬酸络合法制备不同A/B位金属的ABO_(3)钙钛矿型载氧体,通过研究A/B位金属变化对乙烷催化... 钙钛矿载氧体因其低廉的成本、A/B位掺杂金属的灵活多变、优良的氧储存释放性能而受到关注,被广泛应用于化学链式氧化反应中制备乙烯。该文采用柠檬酸络合法制备不同A/B位金属的ABO_(3)钙钛矿型载氧体,通过研究A/B位金属变化对乙烷催化反应性能的影响,得到具有最佳反应活性的载氧体。运用XPS、O_(2)-TPD等方法对催化剂的结构进行表征,为探究其本征反应特性规律,通过动力学研究发现,在形成钙钛矿载氧体的不同A/B位金属中,BaCoO_(3)具有最佳的反应性能,其中乙烷转化率最高达到60%,乙烯选择性达到75%,乙烯收率最高为46%。BaCoO_(3)经过12次循环反应后,乙烯选择性基本保持不变,乙烷转化率降低约4%。通过表征分析发现,比表面积和孔径略微减小,表明载氧体具有优良的稳定性。 展开更多
关键词 乙烯 化学链式氧化 钙钛矿载氧体 半径及价态 氧化脱氢
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链式热氧化与槽式碱抛光工艺条件对PERC单晶硅太阳电池光电转换效率的影响
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作者 晏海刚 李宁 +3 位作者 张绳亮 王磊 张仕君 王慧芳 《太阳能》 2024年第8期95-103,共9页
针对PERC单晶硅太阳电池制备工艺中3合1工序的链式热氧化工艺的氧化性能与槽式碱抛光工艺酸洗槽的去氧化能力的工艺窗口及匹配性进行了研究。首先设计实验分别测试链式热氧化工艺条件(包括温度、氧气流量)、槽式碱抛光工艺的酸洗槽液体... 针对PERC单晶硅太阳电池制备工艺中3合1工序的链式热氧化工艺的氧化性能与槽式碱抛光工艺酸洗槽的去氧化能力的工艺窗口及匹配性进行了研究。首先设计实验分别测试链式热氧化工艺条件(包括温度、氧气流量)、槽式碱抛光工艺的酸洗槽液体浓度对扩散后硅片表面掺杂浓度及PERC单晶硅太阳电池光电转换效率的影响;再根据初步实验结果对链式热氧化工艺与槽式碱抛光工艺的匹配性进行分析,得到整体3合1工序的优化工艺方案;然后采用电化学微分电容电压(ECV)测试扩散后硅片表面掺杂浓度及结深的变化情况,对研究结果进行了佐证,最终达到提升PERC单晶硅太阳电池光电转换效率的目的。研究结果表明:3合1工序中的链式热氧化工艺与槽式碱抛光工艺对扩散后硅片表面掺杂浓度及PERC单晶硅太阳电池电性能存在重要影响,优化链式热氧化工艺的温度、氧气流量与槽式碱抛光工艺的酸洗槽液体浓度,提高二者的匹配性,使氧化能力与去氧化能力均达到临界点,可以最大程度地提高PERC单晶硅太阳电池的光电转换效率。 展开更多
关键词 PERC单晶硅太阳电池 氧化 碱抛光 酸洗槽液体浓度 掺杂浓度 光电转换效率 电性能
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HRT对悬挂链曝气式接触氧化处理污染河水的影响 被引量:1
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作者 张永亮 许振成 +3 位作者 谢水波 虢清伟 王志勇 彭福全 《水处理技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期62-65,共4页
考察了不同水力停留时间(HRT)下,厌氧-缺氧-悬挂链曝气式接触氧化对重、轻度污染河水的净化效果。结果表明,HRT为2、4、8、12h时,在重、轻度污水水质COD为58.67~85.33mg·L-1、26.67~42.67mg·L-1;NH4+-N为5.20~11.30mg·... 考察了不同水力停留时间(HRT)下,厌氧-缺氧-悬挂链曝气式接触氧化对重、轻度污染河水的净化效果。结果表明,HRT为2、4、8、12h时,在重、轻度污水水质COD为58.67~85.33mg·L-1、26.67~42.67mg·L-1;NH4+-N为5.20~11.30mg·L-1、2.79~3.47mg·L-1;TN为8.10~14.18mg·L-1、3.15~3.38mg·L-1;TP为0.62~0.82mg·L-1、0.35~0.39mg·L-1两种典型进水水质情况下,COD、NH4+-N和TN的平均去除率都随HRT的增加而升高,但在HRT为8h后,平均去除率的增幅都变小。TP在重、轻度污水时随HRT变化去除率差异不大。考虑节能与效率,该工艺适宜的HRT为8h,此时重、轻度污染河水的主要污染指标平均去除率COD为61.87%、25.39%;NH4+-N为61.25%、51.04%;TN为37.66%、26.51%;TP为10.19%、8.77%。 展开更多
关键词 HRT 厌氧-缺氧-悬挂曝气接触氧化 污染河水
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FeCl_3/磷酸三丁酯催化四氯化碳与氯乙烯的调聚反应:结构与活性 被引量:1
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作者 曾纪珺 韩升 +2 位作者 唐晓博 张伟 吕剑 《分子催化》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期1-8,共8页
以四氯化碳与氯乙烯的调聚反应为目标反应,研究了Fe Cl3/磷酸三丁酯(TBP)配合物在反应体系中的结构,并关联了其结构与催化活性.采用摩尔电导、红外光谱和紫外吸收光谱对配合物的结构进行表征,结果表明Fe Cl3/TBP配合物在四氯化碳溶剂中... 以四氯化碳与氯乙烯的调聚反应为目标反应,研究了Fe Cl3/磷酸三丁酯(TBP)配合物在反应体系中的结构,并关联了其结构与催化活性.采用摩尔电导、红外光谱和紫外吸收光谱对配合物的结构进行表征,结果表明Fe Cl3/TBP配合物在四氯化碳溶剂中为加合物Fe Cl3(TBP)n(n=1,2和3),配位数n由TBP与Fe Cl3的化学计量数决定.通过表观动力学实验研究了该配合物的催化反应活性,实验结果表明反应表观速率常数(kobs)随着TBP与Fe Cl3的摩尔比(r)的增大而增大,反应引发期(t0)随着r的增大而减小.假定反应遵循链式氧化还原机理,推导了kobs和t0的表达式,表达式和实验结果一致,均表明kobs只与配合物Fe Cl3(TBP)n的配位数和浓度有关. 展开更多
关键词 调聚反应 四氯化碳 铁基催化剂 动力学 链式氧化还原机理
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