期刊文献+
共找到2篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究 被引量:1
1
作者 熊木地 谭久彬 邢忠宝 《微细加工技术》 2003年第4期33-38,共6页
在二元光学激光直写设备中,主轴的速度稳定性是影响光刻精度的主要原因之一。提出采用机电混合滤波器消除电机的轴向振动和径向振动对系统的影响,提高主轴系统瞬时运动的平稳性。利用鉴相器输出的频差与相差和主轴电机的速度对锁相调速... 在二元光学激光直写设备中,主轴的速度稳定性是影响光刻精度的主要原因之一。提出采用机电混合滤波器消除电机的轴向振动和径向振动对系统的影响,提高主轴系统瞬时运动的平稳性。利用鉴相器输出的频差与相差和主轴电机的速度对锁相调速系统的结构进行优化。同时,利用神经网络改善锁相环系统的非线性特性,并采用模糊参数自调整方法调节控制器的参数。结果表明使用机电混合滤波器可使主轴的轴向与径向振动小于20nm,采用改进的锁相环控制可大大提高主轴的调速范围,并改善其动态性能。 展开更多
关键词 激光直写设备 光刻 机电混合滤波器 锁相环速度控制 模糊参数自调整 平稳驱动
下载PDF
A NEW CONTROL METHOD FOR ULTRASONIC MOTOR 被引量:1
2
作者 魏守水 赵向东 赵淳生 《Transactions of Nanjing University of Aeronautics and Astronautics》 EI 1999年第2期109-113,共5页
A new method for the control of the speed of an ultrasonic motor and its implementation are proposed. The method is merely used by detecting the time when motor′s monitor signal reaches a non zero reference valu... A new method for the control of the speed of an ultrasonic motor and its implementation are proposed. The method is merely used by detecting the time when motor′s monitor signal reaches a non zero reference value than a zero one, the direction, in which the driving frequency of the motor should be shifted, can be promptly calculated. With the aid of a CPU and the phase locked frequency doubling technique, the motor can be steadily driven in a wide range of frequency and the optimum frequency can be captured rapidly and precisely. Experiment shows that the above method is available. 展开更多
关键词 ultrasonic motor computer control piezoelectric actuator phase locked loop speed control
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部