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基于锗量子点的硅基发光器件 被引量:1
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作者 夏金松 蒋最敏 +1 位作者 曾成 张永 《光通信研究》 北大核心 2015年第6期1-5,29,共6页
硅基光源是实现硅基集成光电子芯片的核心器件,虽然近年来国内外已经取得多项重要成果,但适合于下一代大规模光电集成芯片的小尺寸、低功耗、工艺兼容的高效硅基发光器件仍然缺乏。文章介绍了基于嵌入光学微腔中的锗量子点实现硅基发光... 硅基光源是实现硅基集成光电子芯片的核心器件,虽然近年来国内外已经取得多项重要成果,但适合于下一代大规模光电集成芯片的小尺寸、低功耗、工艺兼容的高效硅基发光器件仍然缺乏。文章介绍了基于嵌入光学微腔中的锗量子点实现硅基发光器件方面的研究成果,通过将分子束外延生长的锗自组装量子点嵌入硅光子晶体微腔中,实现了室温下处于通信波段的共振发光。通过在图形化衬底上生长实现锗量子点的定位,并精确嵌入光子晶体微腔中,实现了基于锗单量子点的硅基发光器件。 展开更多
关键词 硅基发光器件 锗量子点 光学微腔
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低温锗量子点缓冲层技术生长硅锗弛豫衬底研究
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作者 周志文 叶剑锋 李世国 《深圳信息职业技术学院学报》 2015年第3期5-10,共6页
为了提高生长在硅衬底上的硅锗弛豫衬底的质量,提出了低温锗量子点缓冲层技术,分析了该技术在应变弛豫的促进,表面形貌的改善,位错密度的降低等方面的作用机理。基于低温锗量子点缓冲层技术,利用超高真空化学气相淀积系统,在硅衬底上生... 为了提高生长在硅衬底上的硅锗弛豫衬底的质量,提出了低温锗量子点缓冲层技术,分析了该技术在应变弛豫的促进,表面形貌的改善,位错密度的降低等方面的作用机理。基于低温锗量子点缓冲层技术,利用超高真空化学气相淀积系统,在硅衬底上生长出高质量的硅锗弛豫衬底。锗组份为0.28,厚度不足380 nm的硅锗弛豫衬底,应变弛豫度达到99%,表面没有Cross-hatch形貌,表面粗糙度小于2 nm,位错密度低于105 cm-2。 展开更多
关键词 弛豫衬底 低温锗量子点缓冲层 生长
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东京都市大学制作出嵌入锗量子点的硅基LED
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《现代显示》 2010年第7期64-64,共1页
近日,日本东京都市大学综合研究所硅纳米科学研究中心成功开发出采用锗(Ge)量子点的硅发光元件。东京都市大学工学部教授、硅纳米科学研究中心主任丸泉琢说明,该发光元件是在基于硅的pin构造元件的i层中,嵌入了直径为数10-100nm的... 近日,日本东京都市大学综合研究所硅纳米科学研究中心成功开发出采用锗(Ge)量子点的硅发光元件。东京都市大学工学部教授、硅纳米科学研究中心主任丸泉琢说明,该发光元件是在基于硅的pin构造元件的i层中,嵌入了直径为数10-100nm的锗微小粒子,这种粒子具有提高电子和空穴之间重组率的作用,藉由分子束外延法在约400℃温度下形成,因此元件的制造工艺与CMOS工艺具有兼容性。 展开更多
关键词 锗量子点 日本东京 硅基 大学 都市 嵌入 LED 发光元件
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日开发出嵌入锗量子点的硅基LED
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作者 王兵 《功能材料信息》 2010年第3期59-59,共1页
据有关媒体报道,近日,日本东京都市大学综合研究所研究人员成功开发出采用锗(Ge)量子点的硅发光元件。
关键词 锗量子点 硅基 开发 LED 嵌入 发光元件 研究人员 日本东京
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嵌入锗量子点的硅基LED
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《家电科技》 2010年第7期30-30,共1页
东京都市大学宣布其制作出了采用锗(Ge)量子点的硅发光元件,并在室温下确认了基于电流激励的发光现象。由于可在CMOS工艺中使用具有兼容性的制造工艺、还有望实现激光振荡,距离硅光子的实现更近了一步。
关键词 锗量子点 硅基 LED 嵌入 CMOS工艺 发光元件 发光现象 制造工艺
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氧化硅缓冲层对于退火形成锗量子点的作用研究
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作者 张磊 叶辉 +1 位作者 皇甫幼睿 刘旭 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期502-507,共6页
在化学氧化得到的二氧化硅薄层覆盖的硅衬底上,室温淀积锗膜并进行后期退火处理.实验表明,不同于传统退火过程形成大岛,通过一定工艺的控制可以获得高密度(~1011cm-2)的均匀锗量子点.研究了后期退火温度对量子点的结构影响的局部反常... 在化学氧化得到的二氧化硅薄层覆盖的硅衬底上,室温淀积锗膜并进行后期退火处理.实验表明,不同于传统退火过程形成大岛,通过一定工艺的控制可以获得高密度(~1011cm-2)的均匀锗量子点.研究了后期退火温度对量子点的结构影响的局部反常规律并进行了原因分析.利用拉曼和荧光光谱研究了其应力和发光特性,发现在可见(500nm)和近红外(1350nm)的两个光致荧光峰出现. 展开更多
关键词 锗量子点 二氧化硅 退火
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日本成功开发出嵌入锗量子点的硅基LEO
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《现代材料动态》 2010年第8期21-21,共1页
日本东京都市大学综合研究所硅纳米科学研究中心成功开发出采用锗(Ge)量子点的硅发光元件。
关键词 锗量子点 日本东京 硅基 开发 LEO 嵌入 发光元件 科学研究
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日本成功开发出嵌入锗量子点的硅基LED
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《现代材料动态》 2010年第9期26-27,共2页
日本东京都市大学综合研究所硅纳米科学研究中心成功开发出采用锗(Ge)量子点的硅发光元件。
关键词 锗量子点 日本东京 硅基 开发 LED 嵌入 发光元件 科学研究
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多孔硅上生长Ge量子点的光学特性 被引量:6
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作者 王亚东 黄靖云 +1 位作者 叶志镇 赵炳辉 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第9期1116-1118,共3页
采用量子尺寸的多孔硅作为衬底 ,利用区域优先成核在多孔硅表面上成功地生长了 Ge量子点 .由于量子限制效应锗的 PL 谱发生了明显的蓝移 ,计算表明在傅里叶红外光谱中观察到的中红外 (5— 6 μm)吸收峰是源于量子点中的亚能带跃迁 (两... 采用量子尺寸的多孔硅作为衬底 ,利用区域优先成核在多孔硅表面上成功地生长了 Ge量子点 .由于量子限制效应锗的 PL 谱发生了明显的蓝移 ,计算表明在傅里叶红外光谱中观察到的中红外 (5— 6 μm)吸收峰是源于量子点中的亚能带跃迁 (两个重空穴能级之间的跃迁 ) ,这为 展开更多
关键词 锗量子点 红外光探测器 光学特性 多孔硅
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多层Ge量子点的生长及其光学特性 被引量:5
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作者 邓宁 王吉林 +2 位作者 黄文韬 陈培毅 李志坚 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期951-954,共4页
用超高真空化学气相淀积系统在Si(1 0 0 )衬底上生长了多层Ge量子点 .分别用TEM和AFM分析了埋层和最上层量子点的形貌和尺寸 ,研究了量子点层数和Si隔离层厚度对上层Ge量子点的形状和尺寸分布的影响 .观察到样品的低温PL谱线有明显蓝移 ... 用超高真空化学气相淀积系统在Si(1 0 0 )衬底上生长了多层Ge量子点 .分别用TEM和AFM分析了埋层和最上层量子点的形貌和尺寸 ,研究了量子点层数和Si隔离层厚度对上层Ge量子点的形状和尺寸分布的影响 .观察到样品的低温PL谱线有明显蓝移 (87meV) ,Ge量子点的PL谱线的半高宽度 (FWHM )为 46meV 。 展开更多
关键词 超高真空化学气相淀积 多层锗量子点 PL谱
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Ge/Si量子点的控制生长 被引量:1
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作者 潘红星 王茺 +3 位作者 杨杰 张学贵 靳映霞 杨宇 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期416-420,454,共6页
采用离子束溅射技术,在生长了Si缓冲层的硅晶片上制备了一系列Ge量子点样品.借助原子力显微镜(AFM)和Raman光谱等测试手段研究了Ge/Si量子点生长密度、尺寸及排列均匀性的演变规律.结果表明,改变Si缓冲层厚度及其生长方式,可以有效控制... 采用离子束溅射技术,在生长了Si缓冲层的硅晶片上制备了一系列Ge量子点样品.借助原子力显微镜(AFM)和Raman光谱等测试手段研究了Ge/Si量子点生长密度、尺寸及排列均匀性的演变规律.结果表明,改变Si缓冲层厚度及其生长方式,可以有效控制量子点的尺寸、均匀性和密度.随缓冲层厚度增大,量子点密度先增大后减小,停顿生长有利于提高缓冲层结晶性,从而提高量子点的密度,可以达到1.9×1010cm-2.还研究了Si缓冲层在Ge量子点生长过程中的作用,并提出了量子点的生长模型. 展开更多
关键词 硅缓冲层 锗量子点 离子束溅射
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气源MBE外延自组装GeSi量子点的光致荧光 被引量:2
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作者 李辉 何涛 +3 位作者 戴隆贵 王小丽 王文新 陈弘 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期789-792,共4页
利用气源分子束外延技术(MBE)制作了GeSi自组装量子点样品。利用原子力显微镜(AFM)和光致荧光(PL)光谱研究了该量子点的形貌和光学性质。气源MBE在较低温度下生长的量子点材料具有较高的量子点覆盖度。200 K以下载流子以局域激子形式束... 利用气源分子束外延技术(MBE)制作了GeSi自组装量子点样品。利用原子力显微镜(AFM)和光致荧光(PL)光谱研究了该量子点的形貌和光学性质。气源MBE在较低温度下生长的量子点材料具有较高的量子点覆盖度。200 K以下载流子以局域激子形式束缚在量子点中,激子束缚能约为17 meV。升温至200 K,载流子的输运过程发生变化。对量子点PL积分强度与温度关系曲线进行拟合得到量子点中空穴跃迁至浸润层的热激活能为129 meV。 展开更多
关键词 气源分子束外延 量子 激子 光致荧光 热猝灭
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p型掺杂Si/Ge量子点的电子拉曼散射(英文)
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作者 谭平恒 周霞 +5 位作者 杨富华 BOUGEARD D SABATHIL H VOGL P ABSTREITER G BRUNNER K 《光散射学报》 2004年第1期44-47,共4页
在本文中我们首次报道了p型掺杂的自组织Si/Ge量子点中空穴能级子带间的电子拉曼散射,此电子跃迁的能量为105meV。Si/Ge量子点Ge Ge模的共振拉曼散射表明此空穴能级间的电子拉曼散射与Γ点附近的E0(≈2.52eV)发生了共振,而E1的能量小于2... 在本文中我们首次报道了p型掺杂的自组织Si/Ge量子点中空穴能级子带间的电子拉曼散射,此电子跃迁的能量为105meV。Si/Ge量子点Ge Ge模的共振拉曼散射表明此空穴能级间的电子拉曼散射与Γ点附近的E0(≈2.52eV)发生了共振,而E1的能量小于2.3eV.变温实验和偏振实验进一步证实了我们的指认。所有观测的实验数据与6 bandk·p能带结构理论的计算结果吻合得很好。 展开更多
关键词 硅/锗量子点 电子拉曼散射 共振拉曼散射 P型掺杂 电子跃迁能量 能带结构
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美国Natcore公司研发串联式量子点薄膜太阳能电池
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《浙江电力》 2011年第10期70-70,共1页
美国Natcore公司与赖斯大学(Rice University)共同研制出可实现光伏发电的硅和锗量子点两种多层薄膜电池。该产品采用3节电池串联式层替结构,每节可吸收不同光谱区的光线,
关键词 薄膜太阳能电池 锗量子点 串联式 美国 研发 薄膜电池 光伏发电 可吸收
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自组织生长锗硅量子点及其特性 被引量:5
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作者 秦捷 蒋最敏 王迅 《物理》 CAS 1998年第6期365-370,共6页
半导体量子点的研究是当今物理学研究的热点之一.文章阐述了锗硅量子点自组织生长方法的基本原理和技术,并介绍了所制备的量子点材料的形貌结构、光学特性、电学特性及今后的发展方向.
关键词 自组织生长 量子 半导体 量子
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Si组分对SiGe量子点形状演化的影响 被引量:5
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作者 邓宁 陈培毅 李志坚 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期3136-3140,共5页
研究了自组织生长SiGe岛 (量子点 )中Si组分对形状演化的影响 .采用UHV CVD方法生长了不同Si组分的SiGe岛 ,用AFM对其形状和尺寸分布进行了分析 ,实验结果表明SiGe岛从金字塔形向圆顶形转变的临界体积随Si组分的增大而增大 .通过对量子... 研究了自组织生长SiGe岛 (量子点 )中Si组分对形状演化的影响 .采用UHV CVD方法生长了不同Si组分的SiGe岛 ,用AFM对其形状和尺寸分布进行了分析 ,实验结果表明SiGe岛从金字塔形向圆顶形转变的临界体积随Si组分的增大而增大 .通过对量子点能量的应变能项进行修正 ,解释了量子点中Si组分对形状演化的影响 .在特定的工艺条件下得到了单模尺寸分布的金字塔和圆顶形量子点 .结果表明 ,通过调节SiGe岛中的Si组分 。 展开更多
关键词 量子器件 异质外延生长应变自组装 锗量子点 临界体积 硅组分
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(113)面硅衬底上自组织生长的GeSi量子点及其光荧光 被引量:3
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作者 司俊杰 杨沁清 +5 位作者 滕达 王红杰 余金中 王启明 郭丽伟 周均铭 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第9期1745-1750,共6页
用透射电子显微镜观察了 Si(113) 衬底上由固态源分子束外延生长的自组织量子点的形貌,测量了其原生及退火后低温下的光荧光谱.对所得结果进行了分析.
关键词 衬底 自组织生长 量子 荧光谱
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Local Structure of Ge/Si(100) Self-Assembled Quantum Dots
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作者 Alexander V. Kolobov a) onleavefromA .F .IoffePhysico TechnicalInstitute,StPetersburg,Russia (Joint Research Center for Atom Technology National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Tsukuba Central 4, 1 1 1 Higashi, Tsukuba 30 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期282-288,共7页
Local structure of uncapped and Si capped Ge quantum dots grown on Si(100) has been probed by X ray absorption fine structure spectroscopy. It is found that the uncapped Ge dots are partially oxidized and partially al... Local structure of uncapped and Si capped Ge quantum dots grown on Si(100) has been probed by X ray absorption fine structure spectroscopy. It is found that the uncapped Ge dots are partially oxidized and partially alloyed with Si. The amount of Ge present in the Ge phase is found to be about 20 30%. In the Si capped sample, Ge is found to be dissolved in silicon, the fraction of Ge atoms existing as pure Ge phase being not more than 10%. 展开更多
关键词 自相似 锗量子点 局域结构 EXAFS XANES
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Electric properties of Ge quantum dot embedded in Si matrix
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作者 马锡英 施维林 《Journal of Central South University of Technology》 2005年第2期159-162,共4页
The electric characteristics of Ge quantum dot grown by molecular beam epitaxy in Si matrix were investigated by admittance spectroscopy and deep level transient spectroscopy. The admittance spectroscopy measurements ... The electric characteristics of Ge quantum dot grown by molecular beam epitaxy in Si matrix were investigated by admittance spectroscopy and deep level transient spectroscopy. The admittance spectroscopy measurements show that the activation energy of 0.341eV can be considered as the emitting energy of hole from the ground state of the quantum dot. And the capacitance variation with temperature of the sample shows a platform at various frequencies with reverse bias (0.5 V,) which indicates that the boundary of space charge region is located at the quantum dot layer where the large confined hole concentration blocks the further extension of space charge region. When the temperature increases from 120K to 200K, the holes in the dot emit out completely. The position of the platform shifting with the increase of the applied frequency shows the frequency effects of the charges in the quantum dot. The deep level transient spectroscopy results show that the charge concentration in the Ge quantum dot is a function of the pulse duration and the reverse bias voltage, the activation energy and capture cross-section of hole decrease with the increase of pulse duration due to the Coulomb charging effect. The valence-band offsets of hole in Ge dot obtained by admittance spectroscopy and deep level transient spectroscopy are 0.341 and 0.338eV, respectively. 展开更多
关键词 锗量子点 导纳光谱学 深部瞬时频谱学 硅矩阵
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Evolution of Ge and SiGe Quantum Dots under Excimer Laser Annealing 被引量:1
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作者 韩根全 曾玉刚 +2 位作者 余金中 成步文 杨海涛 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2008年第1期242-245,共4页
我们在前 cimer 激光退火下面的 Ge 和 SiGe 量点的现在的不同松驰机制。自从在 Ge 点和 Ge 层之间没有接口,变粗和在 Ge 的紧张在 Ge 电影上点的点表演的松驰的调查被脱臼放松,当 Si0.77Ge0.23 电影上的 SiGe 点由格子失真放松到协... 我们在前 cimer 激光退火下面的 Ge 和 SiGe 量点的现在的不同松驰机制。自从在 Ge 点和 Ge 层之间没有接口,变粗和在 Ge 的紧张在 Ge 电影上点的点表演的松驰的调查被脱臼放松,当 Si0.77Ge0.23 电影上的 SiGe 点由格子失真放松到协调的块时,它源于在 SiGe 块和 Si0.77Ge0.23 电影之间的明显的接口。结果被范德比尔特和 Wickham 建议并且支撑是理论,并且也表明那没有体积散开 oGeurs 在退火的前 cimer 激光期间。 展开更多
关键词 受激准分子激光器 退火 化硅量子
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