超精密锥形液体静压转台节流器孔径和轴承间隙对其刚度影响的研究

液体静压转台因为其高刚度、高精度等优良性能在超精密机床中得到了广泛应用,其节流器孔径和轴承间隙参数的选择是其性能提升的关键因素。为了进一步研究两种参数对转台刚度的影响,设计了一种可以改变这些参数的小孔节流锥形液体静压转台,使用流体仿真的方法对其刚度进行计算研究并开展了验证实验。首先,介绍了锥形液体静压转台的结构形式,并对转台的性能进行了理论计算和分析;接着,在Fluent软件中仿真计算并总结了节流器孔径和轴承间隙对液体静压转台刚度的影响规律;最后,制备了液体静压转台实物,测量了其轴向和径向刚度,与仿真计算得到的结果在变化趋势上具有良好的一致性,证明了仿真模型的可靠性,对于液体静压转台的设计与刚度提升具有重要意义。