期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于Al_2O_3中间层的InP/SOI晶片键合技术研究
1
作者
宫可玮
孙长征
熊兵
《半导体光电》
北大核心
2017年第6期810-812,817,共4页
研究了基于Al_2O_3中间层的InP/SOI晶片键合技术。该方案利用原子层沉积技术在SOI晶片表面形成Al_2O_3作为InP/SOI键合中间层,同时采用氧等离子体工艺对晶片表面进行活化处理。原子力显微镜和接触角测试结果表明,氧等离子体处理使得晶...
研究了基于Al_2O_3中间层的InP/SOI晶片键合技术。该方案利用原子层沉积技术在SOI晶片表面形成Al_2O_3作为InP/SOI键合中间层,同时采用氧等离子体工艺对晶片表面进行活化处理。原子力显微镜和接触角测试结果表明,氧等离子体处理使得晶片的表面特性更适于实现键合。透射电子显微镜和X射线能谱仪测试结果证实,采用Al_2O_3中间层可以实现InP晶片与SOI晶片的可靠键合。
展开更多
关键词
晶片
键
合
等离子表面处理
键合中间层
下载PDF
职称材料
题名
基于Al_2O_3中间层的InP/SOI晶片键合技术研究
1
作者
宫可玮
孙长征
熊兵
机构
清华大学信息科学与技术国家实验室
出处
《半导体光电》
北大核心
2017年第6期810-812,817,共4页
基金
国家"973"计划项目(2014CB340002)
国家"863"计划项目(2015AA017101)
文摘
研究了基于Al_2O_3中间层的InP/SOI晶片键合技术。该方案利用原子层沉积技术在SOI晶片表面形成Al_2O_3作为InP/SOI键合中间层,同时采用氧等离子体工艺对晶片表面进行活化处理。原子力显微镜和接触角测试结果表明,氧等离子体处理使得晶片的表面特性更适于实现键合。透射电子显微镜和X射线能谱仪测试结果证实,采用Al_2O_3中间层可以实现InP晶片与SOI晶片的可靠键合。
关键词
晶片
键
合
等离子表面处理
键合中间层
Keywords
wafer bonding
plasma surface treatment
bonding interface layer
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于Al_2O_3中间层的InP/SOI晶片键合技术研究
宫可玮
孙长征
熊兵
《半导体光电》
北大核心
2017
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部