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题名微波组件细间距金丝键合工艺的可靠性分析
被引量:2
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作者
井津域
刘德喜
史磊
景翠
尹蒙蒙
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机构
北京遥测技术研究所
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出处
《电子工艺技术》
2021年第4期198-202,206,243,共7页
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基金
装备发展预研项目(2009ZYHW0019)。
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文摘
细间距小尺寸的焊盘键合工艺是微波组件自动键合工艺面临的关键技术瓶颈。针对具体产品,分析了细间距小尺寸焊盘的球焊键合的工艺控制要点,提出了改进劈刀结构、改进焊线模式、优化工艺参数等方面的工艺优化手段,采用该优化方法后,焊接的可靠性和稳定性得到了很大的提高,达到了提升自动球焊键合质量和提高金丝键合工艺精度的目的。
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关键词
金丝键合
细间距小尺寸
键合劈刀
键合参数
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Keywords
fi ne pitch
microsize bonding
bonding capillary
bonding parameters
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名迎接三维封装的挑战
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作者
赵振华
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机构
无锡市新中亚微电子公司
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出处
《集成电路应用》
2002年第5期71-74,共4页
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文摘
人们对蜂窝电话、PDA(个人数字助理)、数字相机和其他同类产品,要求尽可能小而轻,相应要求内部元件更小、更轻,还要薄。正在发展中的一种新封装技术能满足这些要求,就是多层芯片堆积封装,可以在同样面积的封装中获得多芯片功能。这种技术称为三维(3D)封装。纵然小面积封装具有明显的优点,但另外还要满足轻和薄两种需要,这就是当今封装技术面临许多挑战的原因。如果多层叠装的三维封装总高度要求满足一定厚度,则每层芯片的厚度必须相对应。目前,超薄组装的难题是开发芯片处理、内部连接及减小温度应力的工艺技术。任意功能或组成,必须满足"最大厚度预算"。本文列举了各种组成部分的厚度预算,并针对讨论的问题和可以满足挑战的不同内部连接技术,作了一一介绍。包括现行的球型键合和劈刀键合两种技术的比较及两种技术引线成弧的对策,并分析了各种技术的优缺点和极限。适当地评价了劈刀键合为什么可能成为一种适合于三维封装的连接技术,由于其超低弧线能力和其他标准劈刀特征,类似精细间距、连续针脚式跳压等。通过测试结果和电子扫描显微镜(SEM)照片证明了这些优点。
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关键词
三维封装
厚度预算
堆积封装
劈刀键合
球型键合
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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