金属狭缝中SAW传感器信号传输的设计与优化

声表面波(SAW)器件可实现无源无线传感测量,为金属狭缝极端环境下接触应力的测量提供了解决思路。该文主要研究了狭缝中SAW器件的信号传输问题,选用微带线作为信号传输线。分析了金属狭缝对微带线传输性能的影响,设计出信号传输线及匹配电路。最后把设计出的微带线与谐振器键合连接,并进行实验测试。通过对金属狭缝中信号传输问题的研究,验证了狭缝等极端环境实施应力测量的可行性。