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双框架解耦微陀螺原理样机研制
1
作者
唐海林
刘显学
+4 位作者
周浩
郑英彬
张茜梅
施志贵
吴嘉丽
《信息与电子工程》
2010年第6期716-719,共4页
为了把驱动工作模态和检测工作模态有效隔离,以减小模态间的互相干扰,设计了一种双框架解耦微机械陀螺。通过采用可工程化的鲁棒优化结构设计和工艺补偿的制造工艺,实现了工艺误差范围内的稳健设计。这种内外框架结构的微陀螺设计,包括...
为了把驱动工作模态和检测工作模态有效隔离,以减小模态间的互相干扰,设计了一种双框架解耦微机械陀螺。通过采用可工程化的鲁棒优化结构设计和工艺补偿的制造工艺,实现了工艺误差范围内的稳健设计。这种内外框架结构的微陀螺设计,包括自激闭环驱动电路和开环检测电路,对微陀螺进行测试,得到微陀螺驱动模态品质因素>2000,检测模态品质因素>800,量程为2400°/s,线性度<0.3%,灵敏度为1°/s。
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关键词
微惯性测量组
合
微陀螺
鲁棒优化设计
键合-深刻蚀释放体硅工艺
驱动电路
检测电路
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职称材料
题名
双框架解耦微陀螺原理样机研制
1
作者
唐海林
刘显学
周浩
郑英彬
张茜梅
施志贵
吴嘉丽
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
出处
《信息与电子工程》
2010年第6期716-719,共4页
文摘
为了把驱动工作模态和检测工作模态有效隔离,以减小模态间的互相干扰,设计了一种双框架解耦微机械陀螺。通过采用可工程化的鲁棒优化结构设计和工艺补偿的制造工艺,实现了工艺误差范围内的稳健设计。这种内外框架结构的微陀螺设计,包括自激闭环驱动电路和开环检测电路,对微陀螺进行测试,得到微陀螺驱动模态品质因素>2000,检测模态品质因素>800,量程为2400°/s,线性度<0.3%,灵敏度为1°/s。
关键词
微惯性测量组
合
微陀螺
鲁棒优化设计
键合-深刻蚀释放体硅工艺
驱动电路
检测电路
Keywords
Micro Inertial Measurement Unit
micromechanical gyroscope
optimal robustness of design
bonding and deep RIE release process
drive circuit
sense circuit
分类号
V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
双框架解耦微陀螺原理样机研制
唐海林
刘显学
周浩
郑英彬
张茜梅
施志贵
吴嘉丽
《信息与电子工程》
2010
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