半导体制造用气的容器阀

日本高千穗化学工业公司使用的半导体制造用气的容器阀是隔膜式和键板式阀,但大部分是隔膜式阀。这些阀符合日本工业标准JIS B 8246。隔膜式容器阀的结构如图所示。