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镀膜监控系统性能的分析
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作者 黄钉劲 黄献松 +1 位作者 弥谦 韩军 《西安工业学院学报》 2003年第3期228-233,共6页
　介绍了一种用光电技术及数据采集技术对国产镀膜设备进行数字化改造的系统,阐述了其前端信号调理电路、数据采集卡的工作方式,信号处理及频谱分析的程序.对该系统所作大量的实验证明了新系统大大提高了设备对膜层厚度的控制精度.
关键词 监控系统 数据采集 光学薄膜 镀制厚度 接口电路 A/D转换器 系统结构 软件设计
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