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真空蒸发镀膜膜厚影响因素的实验研究 被引量:4
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作者 高红 李庆绵 《鞍山师范学院学报》 2003年第2期40-42,共3页
对蒸发镀膜过程中影响镀膜厚度的因素进行了实验分析 ,并运用CurveExpert软件对实验曲线进行了拟合 。
关键词 真空蒸发 影响因素 实验研究 薄膜厚度 质量 镀料密度
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