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镀膜基板激光测温的自动化 被引量:4
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作者 马秀芳 费越 沈元华 《光学仪器》 1998年第5期28-32,共5页
描写了一种新型的CCD摄像头一计算机系统,它可以在镀膜基板激光测温的过程中跟踪光斑中心,从而测出移过光斑中心的干涉条纹数,达到镀膜基板激光测温自动化的目的。
关键词 激光测温 真空镀膜 自动化 CCD器件 镀膜基板
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