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镀膜基板激光测温的自动化
被引量:
4
1
作者
马秀芳
费越
沈元华
《光学仪器》
1998年第5期28-32,共5页
描写了一种新型的CCD摄像头一计算机系统,它可以在镀膜基板激光测温的过程中跟踪光斑中心,从而测出移过光斑中心的干涉条纹数,达到镀膜基板激光测温自动化的目的。
关键词
激光测温
真空
镀膜
自动化
CCD器件
镀膜基板
下载PDF
职称材料
题名
镀膜基板激光测温的自动化
被引量:
4
1
作者
马秀芳
费越
沈元华
机构
复旦大学
出处
《光学仪器》
1998年第5期28-32,共5页
文摘
描写了一种新型的CCD摄像头一计算机系统,它可以在镀膜基板激光测温的过程中跟踪光斑中心,从而测出移过光斑中心的干涉条纹数,达到镀膜基板激光测温自动化的目的。
关键词
激光测温
真空
镀膜
自动化
CCD器件
镀膜基板
Keywords
Measuring tile Temperature by Laser,Vacuum Coating,Automation.
分类号
TN305.8 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
镀膜基板激光测温的自动化
马秀芳
费越
沈元华
《光学仪器》
1998
4
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