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题名镀钯铜线的制作工艺及性能研究
被引量:2
- 1
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作者
丁雨田
孔亚南
曹军
胡勇
孙钢
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机构
兰州理工大学甘肃省有色金属新材料省部共建国家重点实验室
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出处
《铸造技术》
CAS
北大核心
2013年第2期142-145,共4页
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基金
甘肃省科技攻关项目(2GSO64-A52-05)
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文摘
用扫描电镜观察了直接镀钯铜线和电镀钯铜线的表面形貌,并对直接镀钯铜线的性能进行了研究。结果表明,直接镀钯技术优于电镀钯技术。直接镀钯铜线具有高的伸长率和破断力、好的表面质量、致密的镀层、高的电信号传输性能。
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关键词
微电子封装
直接镀钯技术
直接镀钯铜线
制作工艺
性能
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Keywords
microelectronics packaging
Direct PCC process
Direct PCC wire
production process
performance
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分类号
TG174.4
[金属学及工艺—金属表面处理]
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题名镀钯铜线键合中FAB表面的钯覆盖
被引量:1
- 2
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作者
浦浩楠
王家楫
俞宏坤
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机构
复旦大学材料科学系
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第8期623-628,共6页
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文摘
铜引线键合由于低廉的成本和优良的材料综合性能而受到越来越多的重视,而镀钯铜线较纯铜线的应用更为广泛。其中,自由空气球(FAB)上钯的覆盖情况是需要进行研究的问题之一。由于烧球工艺为瞬态过程,因此在形成FAB后其表面的钯可能会出现不均匀的分布,后续的塑封环节中低含量的钯区域就会遭受外界的侵蚀,这对焊点的可靠性会有不良的影响。基于此,针对线径20μm镀钯铜线FAB上的钯覆盖区域进行了探究,并采用定制化的化学腐蚀方案来显示FAB上钯膜较厚区域和较薄区域在形貌上的差异。此外还讨论了不同电子火焰熄灭(EFO)工艺参数样品的钯薄弱区形状参数,最后分析了影响FAB表面上钯薄弱区的主要工艺因素,得到了相关工艺参数参考值,对后续工艺的可靠性提升有一定的借鉴意义。
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关键词
封装
铜引线键合
镀钯铜线
钯覆盖
电子火焰熄灭(EFO)
自由空气球
(FAB)
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Keywords
packaging
copper wire bonding
palladium-coated copper wire
Pd coverage
electronic flame-off (EFO)
free air ball (FAB)
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分类号
TN305.93
[电子电信—物理电子学]
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题名浅谈镀钯铜线的特性
被引量:3
- 3
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作者
赵杰
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机构
上海交通大学
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出处
《电子与封装》
2012年第9期36-41,共6页
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文摘
随着金线价格一路上涨并创下历史新高,大型封装厂正在加大对铜线制程的投入。通过封装厂多年的摸索,发现镀钯铜线是金线很好的替代品。文章分析了镀钯铜线作为键合线材料本身的基本性质,镀钯铜线引线键合的特征和镀钯铜线PCT实验的可靠性。通过分析发现镀钯铜线材料本身有优良的导电和导热特性,同时还有很好的抗氧化性。镀钯铜线在键合过程中需要保护气体的保护,通过硬度实验发现镀钯铜线的硬度较大,因此需要在键合过程中防止弹坑的出现。通过PCT实验证实镀钯铜线具有较好的可靠性。
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关键词
可靠性
镀钯铜线
键合
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Keywords
reliability
coating Pd copper wire
wire bonding
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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