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镀铝衍射光栅表面有机污染物的等离子体清洗技术
被引量:
1
1
作者
孙浩
白清顺
+2 位作者
李玉海
张鹏
杜云龙
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第3期235-244,共10页
高能量激光装置中衍射光栅吸附的有机污染物是导致衍射光栅损伤的关键因素之一,采用等离子体清洗技术可以实现衍射光栅表面污染物的在线去除。通过有限元方法分析等离子体清洗范围,获得等离子体清洗半径随着清洗距离下降而增加的规律。...
高能量激光装置中衍射光栅吸附的有机污染物是导致衍射光栅损伤的关键因素之一,采用等离子体清洗技术可以实现衍射光栅表面污染物的在线去除。通过有限元方法分析等离子体清洗范围,获得等离子体清洗半径随着清洗距离下降而增加的规律。研究等离子体清洗工艺参数与表面有机污染物去除效果间关系,结果表明随着清洗距离以及工艺气体中氧气含量的上升,镀铝衍射光栅表面自由能的极性部分和色散部分都会增加,其中极性部分的增加起主导作用。等离子体清洗后的镀铝衍射光栅表面呈现洁净状态的周期性锯齿形结构,并且 C1s(285.0 eV)峰值由 6.65×104 降低至 2.86×104 。研究等离子体清洗镀铝衍射光栅后表面自由能变化情况,结果表明镀铝衍射光栅表面的极性基团会吸附空气中的碳氢化合物,出现表面自由能下降的陈化现象。研究结果可为镀铝衍射光栅表面有机物污染物的等离子体在线去除提供新的途径。
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关键词
镀铝衍射光栅
有机污染物
等离子体清洗
表面自由能
陈化
下载PDF
职称材料
题名
镀铝衍射光栅表面有机污染物的等离子体清洗技术
被引量:
1
1
作者
孙浩
白清顺
李玉海
张鹏
杜云龙
机构
哈尔滨工业大学机电工程学院
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第3期235-244,共10页
基金
国家自然科学基金(52075129)
国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院联合基金(NSAF)(U2030109)资助项目。
文摘
高能量激光装置中衍射光栅吸附的有机污染物是导致衍射光栅损伤的关键因素之一,采用等离子体清洗技术可以实现衍射光栅表面污染物的在线去除。通过有限元方法分析等离子体清洗范围,获得等离子体清洗半径随着清洗距离下降而增加的规律。研究等离子体清洗工艺参数与表面有机污染物去除效果间关系,结果表明随着清洗距离以及工艺气体中氧气含量的上升,镀铝衍射光栅表面自由能的极性部分和色散部分都会增加,其中极性部分的增加起主导作用。等离子体清洗后的镀铝衍射光栅表面呈现洁净状态的周期性锯齿形结构,并且 C1s(285.0 eV)峰值由 6.65×104 降低至 2.86×104 。研究等离子体清洗镀铝衍射光栅后表面自由能变化情况,结果表明镀铝衍射光栅表面的极性基团会吸附空气中的碳氢化合物,出现表面自由能下降的陈化现象。研究结果可为镀铝衍射光栅表面有机物污染物的等离子体在线去除提供新的途径。
关键词
镀铝衍射光栅
有机污染物
等离子体清洗
表面自由能
陈化
Keywords
aluminized diffraction grating
organic contaminants
plasma cleaning
surface free energy
ageing
分类号
TG156 [金属学及工艺—热处理]
TB114 [理学—概率论与数理统计]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
镀铝衍射光栅表面有机污染物的等离子体清洗技术
孙浩
白清顺
李玉海
张鹏
杜云龙
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
1
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职称材料
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