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Ti离子注入对石英玻璃表面金属化的影响
被引量:
3
1
作者
崔新强
李海兵
+1 位作者
李国卿
蒋宝财
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期48-50,55,共4页
为提高石英玻璃表面金属化膜层与基底的结合强度,利用金属蒸发真空弧(MEVVA)离子源引出的Ti离子对石英玻璃及镀Ti膜石英玻璃进行离子注入,剂量选择3×10^16,5×10^16ion/cm^2,模拟分析了注入离子能量的分布,采用卢瑟福...
为提高石英玻璃表面金属化膜层与基底的结合强度,利用金属蒸发真空弧(MEVVA)离子源引出的Ti离子对石英玻璃及镀Ti膜石英玻璃进行离子注入,剂量选择3×10^16,5×10^16ion/cm^2,模拟分析了注入离子能量的分布,采用卢瑟福背散射分析了注入Ti离子在基体中的深度分布,利用划痕实验机对比了镀Ti膜石英玻璃经Ti离子注入前后的膜基结合强度。实验结果表明:石英玻璃经Ti离子(5×10^16ion/cm^2)注入后,钛在基体中呈高斯分布,最大浓度分布在15~35nm范围内;镀Ti膜石英玻璃经Ti离子(5×10^16ion/cm^2)注入后,最大浓度分布在5~15nm范围内,注入离子穿透薄膜进入基材内部。Ti离子注入剂量为5×10^16ion/cm^2时,膜基的结合强度比耒注入样品提高了90%。
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关键词
ti
离子
离子注入
镀ti膜石英玻璃
结合强度
下载PDF
职称材料
题名
Ti离子注入对石英玻璃表面金属化的影响
被引量:
3
1
作者
崔新强
李海兵
李国卿
蒋宝财
机构
上海光机所
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期48-50,55,共4页
文摘
为提高石英玻璃表面金属化膜层与基底的结合强度,利用金属蒸发真空弧(MEVVA)离子源引出的Ti离子对石英玻璃及镀Ti膜石英玻璃进行离子注入,剂量选择3×10^16,5×10^16ion/cm^2,模拟分析了注入离子能量的分布,采用卢瑟福背散射分析了注入Ti离子在基体中的深度分布,利用划痕实验机对比了镀Ti膜石英玻璃经Ti离子注入前后的膜基结合强度。实验结果表明:石英玻璃经Ti离子(5×10^16ion/cm^2)注入后,钛在基体中呈高斯分布,最大浓度分布在15~35nm范围内;镀Ti膜石英玻璃经Ti离子(5×10^16ion/cm^2)注入后,最大浓度分布在5~15nm范围内,注入离子穿透薄膜进入基材内部。Ti离子注入剂量为5×10^16ion/cm^2时,膜基的结合强度比耒注入样品提高了90%。
关键词
ti
离子
离子注入
镀ti膜石英玻璃
结合强度
Keywords
ti
ions implanta
ti
on
Quartz coated with
ti
film
Interfacial adhesion and bond strength
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Ti离子注入对石英玻璃表面金属化的影响
崔新强
李海兵
李国卿
蒋宝财
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
3
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职称材料
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参考文献
引证文献
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