自支撑Mg靶膜的制备

用真空蒸发法成功制备了１７００～１９６１ μｇ／ｃｍ ２ 的薄自支撑 Ｍ ｇ 靶膜和９０～９５ μｍ 的厚自支撑 Ｍ ｇ 靶膜。甜菜碱是制备 Ｍｇ 靶膜有效的解离剂。讨论了真空蒸发制靶过程中的主要技术难点。