期刊文献+
共找到4篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
添加剂对纳米压印模板光栅结构填充效果的改善作用 被引量:1
1
作者 郑永广 张然 +1 位作者 刘泽 褚金奎 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期108-114,共7页
为改善电铸填充高深宽比纳米光栅结构时出现的空洞现象,本文向电铸液中添加平整剂健那绿,利用健那绿分子的静电吸附原理消除该工艺缺陷.结合纳米压印技术及电铸工艺,在柔性基底上完成了纳米压印镍模板的复制.复制过程中,首先通过热压将... 为改善电铸填充高深宽比纳米光栅结构时出现的空洞现象,本文向电铸液中添加平整剂健那绿,利用健那绿分子的静电吸附原理消除该工艺缺陷.结合纳米压印技术及电铸工艺,在柔性基底上完成了纳米压印镍模板的复制.复制过程中,首先通过热压将硅原始模板上的纳米光栅结构转移到聚合物基底上,制作出压印所需的软模板;然后采用溅射工艺在聚合物基底纳米结构表面沉积镍种子层并通过电铸工艺完成纳米光栅结构的填充及复制模板背板的生长;最后将铸层与聚合物基底进行分离.通过此工艺,成功复制了一块带有6个1.3mm×1.3mm纳米光栅区域的纳米压印镍模板,模板表面光栅周期为201nm,线宽98nm,深度104nm.与原始硅模板相比,复制模板特征尺寸偏差在5%以内,表明复制模板特征尺寸与相应原始模板特征尺寸之间有良好的一致性.热压实验后复制模板表面光栅结构周期无偏差,线宽偏差在2%以内,实验结果表明复制的纳米压印模板机械强度足以适用于热压过程. 展开更多
关键词 纳米压印 纳米光栅 电铸填充 健那绿 静电吸附 镍模板 高深宽比
下载PDF
利用Ni纳米岛模板制备半极性晶面GaN纳米柱 被引量:1
2
作者 杨国锋 陈鹏 +8 位作者 于治国 刘斌 谢自力 修向前 韩平 赵红 华雪梅 张荣 郑有炓 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期417-420,442,共5页
报道了在GaN表面以Ni纳米岛结构作为模板,利用电感耦合等离子(ICP)刻蚀制备GaN纳米柱的研究结果。原子力显微镜(AFM)测试结果表明,金属Ni薄膜在快速热退火(RTA)作用下形成了平均直径和高度大约分别为325 nm和70 nm的纳米岛状结构。通过... 报道了在GaN表面以Ni纳米岛结构作为模板,利用电感耦合等离子(ICP)刻蚀制备GaN纳米柱的研究结果。原子力显微镜(AFM)测试结果表明,金属Ni薄膜在快速热退火(RTA)作用下形成了平均直径和高度大约分别为325 nm和70 nm的纳米岛状结构。通过电子扫描显微镜(SEM)照片看出,以GaN表面所形成的Ni纳米岛作为模板图形,通过控制ICP刻蚀时间,在一定的刻蚀时间内(2 min)获得有序的并拥有半极性晶面的GaN纳米柱阵列。这种新颖的半极性GaN纳米柱作为氮化物量子阱或者超晶格结构的生长模板,可以有效减小甚至消除极化效应,提高光电子器件的效率和性能。 展开更多
关键词 氮化镓 纳米岛模板 电感耦合等离子刻蚀 半极性面 氮化镓纳米柱
下载PDF
压印技术在PCB中的应用 被引量:1
3
作者 周华梅 石新红 《电子工艺技术》 2020年第6期358-361,共4页
主要研究了压印技术在PCB中的应用,利用改良型半加成工艺(mSAP)制备金属镍模板,镍模板表面经过防黏处理,再进行压印、脱模,得到深度均匀的图形,最后再经过PCB常规去钻污、PTH、电镀、去面铜等工艺,制备出精度高、重复性好的线路图形。
关键词 镍模板 压印 PCB 线路图形
下载PDF
Highly active porous nickel-film electrode via polystyrene microsphere template-assisted composite electrodeposition for hydrogen-evolution reaction in alkaline medium 被引量:1
4
作者 Yinliang Cao Haijing Liu +1 位作者 Xin Bo Feng Wang 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第3期501-507,共7页
A highly porous nickel-film electrode with satisfactory mechanical strength was prepared by a facile vertical template-assisted composite electrodeposition method using polystyrene(PS) microspheres templates, with the... A highly porous nickel-film electrode with satisfactory mechanical strength was prepared by a facile vertical template-assisted composite electrodeposition method using polystyrene(PS) microspheres templates, with the aim of improving the electrocatalytic activity for the hydrogen-evolution reaction(HER). During the composite electrodeposition process, the hydrophobic PS microspheres were highly dispersed in the electrolyte with the help of a surfactant, and then co-deposited with Ni to form the film electrode. After removing the PS templates by annealing, a porous Ni film containing large amount of uniformly dispersed pores with narrow size distribution was obtained, and then applied as the electrode for the HER in an alkaline medium. As evidenced by the electrochemical analysis, the porous Ni film electrode exhibits higher catalytic activity as compared to a dense Ni film electrode and is superior to a Ni/Ru O2/Ce O2 commercial electrode. The effect of temperature on the catalytic properties of the porous Ni film electrode was also investigated; the activation energy was calculated as 17.26 k J/mol. The enhanced activity toward the HER was attributed to the improved electrochemical surface area and mass transportation facilitated by the high porosity of the synthesized Ni film electrode. 展开更多
关键词 porous film electrode NICKEL ELECTRODEPOSITION electrocatalytic activity hydrogen evolution reaction
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部