镍薄膜电阻作为多功能传感器的温度敏感元件

为解决铝薄膜和银薄膜电阻率小、热敏电阻灵敏度低、耐腐蚀性差、工作温度低等问题 ,提出镍薄膜电阻可以作为温度敏感元件集成在压力传感器上 .对镍薄膜热敏电阻的制备方法、温度敏感特性进行了分析与实验研究 ,并将其集成在耐高温压力传感器上 ,对制备的压力 -温度多功能传感器进行了测试 .结果表明传感器可在室温至 2 0 0℃温度范围工作并达到较高精度 ,可以推广使用 .

关于镍薄膜热电阻研制的几个问题

就镍薄膜热电阻研制过程中的选材、工艺、稳定性等问题进行了探讨 ,实验结果表明 :可以选用国产 0号镍 ,采用 S-枪磁控溅射技术制备镍薄膜热电阻 ;合适的热处理工艺是保证电阻温度系数α值及其一致性的关键 ;

采用新型传感器构成的测温装置

本文介绍了采用新型的镍薄膜电阻温敏元件制成的温度传感器及其与单片机构成的测温装置.