两种化学镀镍—钴—磷镀层的显微组织与耐蚀性

采用化学镀法在p型单晶硅片表面制备了2种镍-钴-磷合金镀层,对比研究了其显微组织和耐蚀性。结果表明,Ni48Co46P6镀层为非晶和纳米晶混合结构,表面均匀分布着粒径0.2～3.5μm的球状团簇;而Ni12Co84P4镀层为单相密排六方结构,平均晶粒尺寸约16nm,表面由长约1.0μm的梭状团簇组成。在10.0%NaOH溶液和3.5%NaCl溶液中,2种镀层的极化曲线均存在明显的钝化区域,且Ni48Co46P6镀层的耐蚀性较好;而在1.0%H2SO4溶液中,2种镀层的耐蚀性均大幅下降。