半导体检测设备中直角补偿镜组光路计算及误差分析

该文通过严格的数学分析,得到了计算光线经过平面镜反射的光路的一般方法,并将该方法用于半导体检测设备中直角补偿镜组的光路计算。通过计算和分析得到了直角补偿镜组整体的6个刚体自由度对打在TDI相机靶面上的光点坐标的影响,进而得到TDI相机靶面上的光点位置误差和直角补偿镜组的6个自由度之间的函数关系,最后通过误差的小量近似得到更适合工程应用的函数关系,对实际设备系统设计具有一定的参考价值。

一种检测大口径光学系统中透射镜组的新方法

分析了常规透射镜组检测方法的缺点,在添加简单的辅助元件情况下,提出了一种新的检测透射镜组装调完成后整体组件的方法,从而解决了大口径光学系统应用中透射镜组的光学质量检测问题.分别以两个实际光学系统为例,给出了透射镜组的设计和准确度要求.随后利用该方法对实际系统中装调完成后的透射镜组进行检测,并将分析结果和实际检测结果进行比较,得出该方法的检测准确度优于0.01λ,证明了该检测方法的可靠性和正确性.最后用检测结果指导装调,使得透射镜组的最终装调完成后的质量满足了要求.

影响激光驱动器注入镜组特性的误差因素分析

研究了惯性约束大功率激光聚变驱动器注入镜组特性影响因素，分析表明透镜的几何尺寸公差、透镜装配公差和镜组在线安装公差等因素对镜组焦距公差、焦斑分布、波像差方面的特性影响较大。针对影响镜组特性的主要因素，建立了镜组特性影响分析的相关数学模型，并基于MatIab和Zemax软件平台对模型进行模拟计算，结果表明数学模型可以保证镜组特性需要的制造、安装公差。

基于镜组准直的激光干涉仪快速对光方法研究

为了解决激光干涉仪使用时激光光路准直调整比较费时的问题,在对激光干涉仪位置测量原理和测量误差进行分析的基础上,通过反复比较验证,提出了一种基于镜组准直的快速对光方法。实践表明,该方法简单实用,能够有效指导操作人员高效准确地完成对光,具有较强的指导作用。

红外热像光学镜组轴偏测量仪

原则设计了用于 8— 14μm红外光学镜组的轴偏检测系统 ,系统包括 CO2 激光器、可调焦望远镜、TGS热释电热像仪与计算机配合的数据读出及处理、径向跳动≤ 1μm,轴向晃动≤ 1″的高精密基准轴工作台。测量精度 :角度≤ 2 ″,线度≤ 0 .0 2 mm。编制了轴偏数据处理程序。更换光源 (用波长 3.39μm的 He— Ne激光代替 CO2 激光 )系统可用于 3—

大功率激光驱动器镜组性能影响因素分析

为了分析透镜的几何尺寸公差、透镜的装配公差和镜组在线安装公差等主要因素对惯性约束大功率激光聚变驱动器注入镜组性能的影响规律,建立了关于镜组性能影响因素的模型,并采用Matlab和光学设计分析软件对模型进行了模拟计算.通过模拟计算的数据,对注入镜组性能影响显著的要素进行了分析.分析结果表明,透镜的几何尺寸公差、装配公差和镜组在线安装公差与镜组焦距公差、波像差呈线性关系.模拟计算结果和镜组公差判据为保证镜组性能需要的制造和安装公差提供了依据.

光刻机照明系统中继镜组的光场均匀性优化设计

提出了一种快速计算光学系统像面照度均匀性的算法,通过近似算法计算系统数值孔径,并利用出射光瞳数值孔径表征像面照度。利用该算法计算光场不均匀性,将其作为自动优化过程中的评价函数之一,优化设计光刻机照明系统中继镜组。通过Light tools软件对设计的中继镜组进行仿真验证,结果表明不同相干因子照明下掩膜面上的光场不均匀性均小于0.5%。通过实验测试了设计的中继镜组的积分均匀性,结果表明各相干因子下,光场不均匀性小于1.21%,能够满足掩膜面上光场不均匀性的指标需求(<1.5%),验证了该快速评估算法可有效应用于中继镜组优化设计中。

汽车白车身激光钎焊ALO3镜组更换调试

汽车白车身焊接大量使用激光钎焊技术,以焊丝作为主要的填充物。车身板材加工、金属焊接等生产制造中大量使用二极管激光发生器,其优点是灵活、占地面积小、高效率、高稳定性。通过一根光缆能够将激光发生器产生的激光传送到激光镜组上,使其准确作用于焊接部位。激光镜组从ALO1发展到目前的ALO3,技术和功能上都在不断提升。文章介绍钎焊ALO3镜组在生产应用中遇到的一些问题,以及更换一个全新的镜组需要做的调试和应用工作。

大口径大视场校正镜组支撑与装配方法综述

校正镜组是大口径大视场望远镜的核心组件。为了满足透镜面形和成像质量等光学设计要求,透镜支撑结构的设计与安装对准方式的选择尤为重要。本文详细介绍三种透镜支撑结构,压圈隔圈支撑、RTV弹性体支撑和柔性结构支撑,并对三种支撑方式优缺点进行比较。结合实例总结了校正镜组的安装对准方式,对大口径大视场望远镜校正镜组的支撑结构设计及安装方式确定具有非常好的借鉴意义。

手术室腔镜组护士专科培训的探讨

目的:探讨手术室腔镜组护士专科规范化培训的方法与效果。方法:成立腔镜专科组,以全国手术室专科护士培训教材《手术室护理学》为指南,结合笔者所在医院实际情况,应用多媒体讲座、实物操作演示、护理查房的方法,对腔镜组护士进行理论知识与实践技能的培训,每月考核理论和操作技能一次。结果:专科培训后腔镜组护士理论知识、实际操作能力测评成绩和手术医生满意度显著高于专科培训前(P<0.05)。结论:腔镜组护士专科规范化培训可提高手术室的工作质量和效率,构建和谐的医护关系。

手术室腔镜组护士专科培训的效果研究

目的:分析手术室腔镜组护士专科培训的方法并总结其所取得的效果。方法:选择手术室腔镜组的护士90位,将其平均分成两组,一组施行普通的培训方式,另一组进行专科培训,利用多种培训方式。每个月都进行一次对所有护士进行理论知识及实践能力的测验,比较两组护士间的成绩及培训前后护士的成绩。结果:手术室腔镜组所有护士在进行培训后的理论知识及临床实践能力均有了显著的提高,并且医生对护士的满意程度普遍提高,P<0.05。此外,进行专科培训的护士与进行普通培训的护士相比,成绩更优,差异具有统计学意义,P<0.05。结论:专业的有规律的培训在提高护士的护理工作及护理质量方面具有重大意义,对手术室腔镜组护士进行专科培训的效果显著,有助于更好的开展护理工作。

“光影随行”放大镜组合——献给爷爷奶奶的爱

本作品是把菲涅尔透镜、LED灯、笔杆、变形支架结合起来制作而成的一种便于老人使用的组合型放大镜。轻巧方便，价格低廉，比较适宜老年人使用。

新疆黑山低阶煤镜质组的分离及其微生物降解研究

利用重液离心法分离出新疆黑山低阶煤中的镜质组,采用土壤水微菌对低阶煤镜质组进行降解实验。通过偏光显微镜分析结果可知,镜质组的最佳分离密度区间为1.15~1.20 kg/m^(3),此区间内镜质组的富集产率达到92.50%。土壤水微菌降解镜质组的最佳工艺条件为:煤浆浓度0.60 g/50 mL培养基,菌液用量8 mL/50 mL培养基,降解时间13 d,此时降解率为24.35%。FTIR分析和XRD分析结果表明,微生物降解后,镜质组的脂肪烃、芳香烃吸收峰减弱,羧基和硝基的吸收峰消失,芳香层间距增加,芳香层数减小,说明镜质组中的有机大分子已被土壤水微菌降解为小分子。GC-MS分析结果表明,镜质组的液相产物中主要含有脂肪烃、芳香烃、酯类和胺类等小分子物质,其中脂肪烃类物质的含量最高。

铜绿假单胞菌对富集镜质组新疆大南湖低阶煤的降解特性

目前,微生物降解低阶煤技术已经取得显著的研究成果,但低阶煤的组成复杂,微生物降解低阶煤的机理仍然不明晰。因此,根据煤岩学的原理,分离得到富集镜质组的低阶煤(镜质组煤样),从而简化煤的组成,再利用微生物降解镜质组煤样,进而推知微生物对镜质组煤样的降解特性。采用重力分选法分离得到富集镜质组的新疆大南湖低阶煤,利用铜绿假单胞菌对硝酸预处理镜质组煤样进行降解,通过单因素实验和正交实验研究煤浆质量浓度、菌浓度、降解时间对铜绿假单胞菌降解镜质组煤样的影响。结果表明:三种因素按对降解效果的影响由大到小为降解时间、煤浆质量浓度、菌浓度,分析正交实验结果可知,铜绿假单胞菌降解预处理镜质组煤样的最优工艺条件为煤浆质量浓度6 g/L、菌浓度6.37×10^(6) CFU/mL、降解时间11 d,最大降解率为57.1%;对镜质组煤样、预处理镜质组煤样及降解后剩余镜质组煤样进行工业分析和元素分析,发现预处理镜质组煤样经过铜绿假单胞菌降解后,C元素和N元素的质量分数减小,H元素和O元素的质量分数增大;由红外分析结果可知,预处理镜质组煤样经过铜绿假单胞菌降解后,镜质组煤样中芳香结构发生变化,烷基侧链被降解;通过XRD分析发现,预处理镜质组煤样经过铜绿假单胞菌降解后,芳香层片的间距d 002、堆砌高度L c、微晶宽度L a均减小,芳香层数N增大,表明铜绿假单胞菌能够降解预处理镜质组煤样中的芳香结构;采用气相色谱-质谱联用仪对铜绿假单胞菌降解预处理镜质组煤样后的液相产物进行分析,发现在二氯甲烷与甲苯萃取物中,质量分数最高的物质为烷烃类物质(均超过50%),其次为酯类物质(质量分数均在30%以上),相对分子质量均集中在142~394,说明铜绿假单胞菌可以将镜质组煤样降解为小分子;液相产物两种萃取物中还检测到部分胺类和硫取代基类化合物,综合元素分析结果得出铜绿假单胞菌能降解预处理镜质组煤样中的含氮结构和硫元素。

烟煤镜质组分性质及对活性炭结构特性的影响

以大同烟煤和新疆烟煤为原料,采用密度离心分离法提取镜质组富集物,采用气体活化法制备活性炭。对比研究原煤及其镜质组的结构性质差异,以及经炭化和CO_(2)活化后微晶及孔结构的特性变化。采用傅里叶变换红外光谱法对比分析了原煤及其镜质组芳香烃和脂肪烃结构的差异,采用X射线固体粉末衍射法全过程分析了原料、炭化料和活性炭的微晶结构参数及芳香度变化,采用N2吸附法研究了炭化料和活性炭的孔结构特性变化。结果表明:相比于原煤,镜质组富集物的微晶单元尺寸较小,脂肪链长度较短,且支链数量较多,有利于增强炭化过程的流动性。经热重分析法得到镜质组的炭化失重率较高,且失重峰较宽。上述结构性质及反应性差异影响了炭化料的结构特性。经过850℃炭化后,镜质组炭化料的微晶层片尺寸和堆积厚度均增加,原煤炭化料仅增加了层片尺寸,而堆积厚度有所降低,说明显微组分差异主要影响了炭化过程中芳香层片的纵向堆叠。同时相比于原煤炭化料,镜质组炭化料的芳香度较高,BET比表面积和总孔容积相对较大。经过CO_(2)活化后,活性炭的微晶堆积厚度及层片尺寸均低于对应的炭化料,说明CO_(2)活化烧蚀了微晶结构。同时,活化形成了以微孔为主的孔结构,其中镜质组活性炭的BET比表面积分别达到744.1和797.4 m^(2)/g,显著高于原煤活性炭。镜质组活性炭的微孔和中孔容积也较高,其中微孔容积达到原煤活性炭的1.7~2.2倍。上述结果说明芳香度较高、初始孔结构较多的炭化料有利于活化形成更加丰富的微孔结构。

基于随机森林和树突网络的煤镜质组反射率估计

镜质组平均最大反射率是表征煤化程度的重要指标,在确定煤级、鉴别混煤和指导炼焦配煤中起关键作用。传统反射率测定方法费时耗力,且测量结果的主观性较强,致使实验室间鉴定结果的可比性差。针对该问题,提出一种基于随机森林(RF)和树突网络(DDNet)的煤镜质组反射率估计方法,主要包括煤岩显微图像分割、镜质组识别和镜质组平均最大反射率预测3个部分。利用手肘法和K-Means算法对显微图像聚类,以实现不同显微组分区域的分割;采用人工少数类过采样法(SMOTE)对少数类样本过采样,以改善煤岩中镜质组与非镜质组区域样本的不均衡问题;利用基于DDNet的回归算法实现镜质组平均最大反射率的估计,构建回归模型时从镜质组区域中选择多个41×41像素的方形窗口并提取其灰度特征,以提高算法的鲁棒性,其决定系数达到0.990。实验结果表明:采用手肘法自动确定K-Means算法的参数K,具有良好的自适应能力,能够自动区分不同类别数的显微组分;SMOTE方法可有效避免模型因过度学习样本先验信息而导致对多数类识别好、少数类识别差的问题,提高分类准确度,其中基于RF的识别模型准确率达到97.0%;建立了7种回归估计模型,其中DDNet回归模型性能最佳,决定系数达到0.990,预测结果与实际值高度契合,验证了所提方法的可行性。

嵌入改进注意力机制的镜质组显微亚组分轻量级网络识别模型

为提高煤岩镜质组显微组分的识别准确率和识别模型性能,减少识别模型训练中的人工干预,以轻量级网络模型ShuffleNet V2作为主干网络,提出一种嵌入改进注意力机制的煤岩镜质组显微亚组分识别轻量级深度学习网络模型。首先针对镜质组样本数据量较少的问题,采用随机裁剪、旋转、镜像及加噪等方法对初始样本数据进行增强,提高训练模型泛化能力;然后以大型数据集ImageNet上完成预训练的ShuffleNet V2模型为基础,采用迁移学习的方法对模型进行微调,即在本文增强的镜质组显微图像训练样本集上将预训练模型中靠近输入的若干层冻结,对靠近输出的网络层权值进行微调,生成深层特征提取层;最后在ShuffleNet V2模型的输出部分嵌入通道注意力机制ECA,并根据煤岩镜质组不同显微亚组分图像具有明显纹理差异的特点对注意力机制进行改进,构建端到端的轻量级网络识别模型,实现对煤岩镜质组7类显微亚组分的自动识别。实验结果表明:采用本文方法对煤岩镜质组显微亚组分进行识别,其平均准确率可达97.85%,较之ShuffleNet V2原模型可提升5.71%;与经典的神经网络相比,本文模型具有较高的识别准确率、较少的网络参数和计算量及较快的收敛速度;与其他轻量级网络及嵌入其他注意力机制相比,该网络在保持较少参数量的同时,识别的准确率有明显的提高。

激光法红外热像镜组中心偏测量与调校研究

论述了多镜片成像光学镜组中心偏的理论表征 ,以及自准反射旋转法测量中心偏的原理。设计了用于红外光学镜组的中心偏检测系统。系统包括用于 8～ 14 μm红外光学系统中心偏测量的CO2 激光 ;可调焦望远镜 ;采用TGS热释电热像仪与计算机配合的数据读出及处理系统 ;径向跳动≤ 1μm ,轴向晃动≤ 1″的高精密基准轴工作台。系统测量中心偏精度为 :角度≤ 2″ ,线度≤ 0 .0 2mm。给出了中心偏数据处理程序。系统也可用于在线装校 ,更换光源 (用He Ne激光代替CO2 激光 )系统可用于 3～ 5 μm红外光学系统的测量。进一步改进并利用激光的相干特性 ,系统可实现中心偏测量精度≤ 1μm。

炼焦用煤镜质组反射率测定的影响因素

炼焦用煤是指用于钢铁生产中焦化过程中制作高质量焦炭的煤种。从炼焦用煤和镜质组反射率的基本概念出发,分别介绍这两者的基本含义及其关键技术,然后重点分析炼焦用煤镜质组反射率测定的影响因素,并分别对各个因素进行详细的分析,并给出相应的处理措施。