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半空间方法在检测基片镶嵌缺陷粒子中的应用
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作者 巩蕾 高明 吴振森 《西安工业大学学报》 CAS 2012年第10期795-799,共5页
为了更好地诊断出基片无损检测工作中缺陷粒子姿态的详细信息,使用三波技术给出了半空间问题相应的连接边界条件,利用互易性定理简化近远场外推中的场变换过程,给出了一种有效的计算基片与镶嵌缺陷粒子散射方法.在数值计算中与矩量法(M... 为了更好地诊断出基片无损检测工作中缺陷粒子姿态的详细信息,使用三波技术给出了半空间问题相应的连接边界条件,利用互易性定理简化近远场外推中的场变换过程,给出了一种有效的计算基片与镶嵌缺陷粒子散射方法.在数值计算中与矩量法(MOM)进行了比较,得到了p偏振和s偏振下镶嵌Cu和SiO2球体缺陷粒子的微分散射截面和电场分布.研究结果表明:介质缺陷的微分散射截面的值小于同条件下金属缺陷粒子的值.在应用中可通过分析p偏振场值分布特点反演缺陷特征值. 展开更多
关键词 半空间方法 复合散射 镶嵌缺陷粒子 基片
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