期刊文献+
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
2m激光干涉测长基准装置 被引量:10
1
作者 叶孝佑 高宏堂 +5 位作者 孙双花 邹玲丁 沈雪萍 甘晓川 常海涛 张晓 《计量学报》 CSCD 北大核心 2012年第3期193-197,共5页
阐述了2m激光干涉测长基准装置工作原理及系统组成,以线间距测量功能为基础,研究了接触式和非接触式的几何测长对准方法,实现了其测长功能拓展应用。介绍了实现纳米精度测长的技术措施。对称布局的双光电显微镜同步扫描测量接长的方... 阐述了2m激光干涉测长基准装置工作原理及系统组成,以线间距测量功能为基础,研究了接触式和非接触式的几何测长对准方法,实现了其测长功能拓展应用。介绍了实现纳米精度测长的技术措施。对称布局的双光电显微镜同步扫描测量接长的方式实现2m刻线间距测量,信号处理系统具有标准间距位置脉冲发生功能,可以实现位移传感器动态触发校准和其它应用。对于高质量的线纹尺,2m激光干涉测长基准装置单次测量刻线间距的最佳瞄准精度优于10nm(1σ),1m测量范围内的线纹测量不确定度U=(20+40L)nm(k=2)。 展开更多
关键词 计量学 干涉测基准 长度量值溯源 多功能测 双光电显微镜
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部