期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
2m激光干涉测长基准装置
被引量:
10
1
作者
叶孝佑
高宏堂
+5 位作者
孙双花
邹玲丁
沈雪萍
甘晓川
常海涛
张晓
《计量学报》
CSCD
北大核心
2012年第3期193-197,共5页
阐述了2m激光干涉测长基准装置工作原理及系统组成,以线间距测量功能为基础,研究了接触式和非接触式的几何测长对准方法,实现了其测长功能拓展应用。介绍了实现纳米精度测长的技术措施。对称布局的双光电显微镜同步扫描测量接长的方...
阐述了2m激光干涉测长基准装置工作原理及系统组成,以线间距测量功能为基础,研究了接触式和非接触式的几何测长对准方法,实现了其测长功能拓展应用。介绍了实现纳米精度测长的技术措施。对称布局的双光电显微镜同步扫描测量接长的方式实现2m刻线间距测量,信号处理系统具有标准间距位置脉冲发生功能,可以实现位移传感器动态触发校准和其它应用。对于高质量的线纹尺,2m激光干涉测长基准装置单次测量刻线间距的最佳瞄准精度优于10nm(1σ),1m测量范围内的线纹测量不确定度U=(20+40L)nm(k=2)。
展开更多
关键词
计量学
干涉测
长
基准
长度量值溯源
多功能测
长
双光电显微镜
下载PDF
职称材料
题名
2m激光干涉测长基准装置
被引量:
10
1
作者
叶孝佑
高宏堂
孙双花
邹玲丁
沈雪萍
甘晓川
常海涛
张晓
机构
中国计量科学研究院
北京航空航天大学
浙江省计量科学研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2012年第3期193-197,共5页
文摘
阐述了2m激光干涉测长基准装置工作原理及系统组成,以线间距测量功能为基础,研究了接触式和非接触式的几何测长对准方法,实现了其测长功能拓展应用。介绍了实现纳米精度测长的技术措施。对称布局的双光电显微镜同步扫描测量接长的方式实现2m刻线间距测量,信号处理系统具有标准间距位置脉冲发生功能,可以实现位移传感器动态触发校准和其它应用。对于高质量的线纹尺,2m激光干涉测长基准装置单次测量刻线间距的最佳瞄准精度优于10nm(1σ),1m测量范围内的线纹测量不确定度U=(20+40L)nm(k=2)。
关键词
计量学
干涉测
长
基准
长度量值溯源
多功能测
长
双光电显微镜
Keywords
Metrology
Interference length measurement primary standard
Length quantity tracing
Multi-function length measurement
Double optoelectronics microscope
分类号
TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
2m激光干涉测长基准装置
叶孝佑
高宏堂
孙双花
邹玲丁
沈雪萍
甘晓川
常海涛
张晓
《计量学报》
CSCD
北大核心
2012
10
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部