蓝宝石长晶炉PCW系统设计

近年来,随着LED行业迅速发展,巨大的市场需求推动了LED技术不断创新,催生了高端市场的应用需求,作为LED白光照明制造必不可少的原材料之一,蓝宝石衬底的需求预期同样被市场所推动。蓝宝石长晶炉是蓝宝石晶体制备工艺中的重要设备,而蓝宝石长晶炉PCW系统尤其是无压力回水等的稳定性关系到蓝宝石晶体的良率,这就对暖通设计提出了新的挑战。鉴于此,简述了某蓝宝石长晶车间的PCW系统设计方案和设备选型,针对无压力回水的设计特点及项目设计中所采用的节能措施进行了分析研究。

单晶硅长晶炉用钨钼制品的质量控制

单晶硅长晶炉一般采用石墨材料作为容器、隔热屏和加热器,但是石墨材料容易产生挥发性杂质,影响单晶硅的纯度要求,另外石墨碎裂、脱落也会引起热场损坏。因此,有必要采用光亮钼片制作的导流筒和保温盖封闭石墨材料,同时光亮钼片的热辐射作用也增强了长晶炉上部的温度梯度,有利于加快长晶速度。在大直径单晶硅的发展趋势下,钨丝绳由于其更高的强度而代替了钢丝绳,但是钨在常温下是脆性材料,因此在使用过程中要注意防止硬物撞击受伤失效。钼重锤起到连接籽晶夹和钨丝绳的作用,钼重锤比钢重锤具有更高的强度,同时也不会给单晶硅晶体带去杂质污染。为了保证钨丝绳与钼重锤在长晶过程中始终保持在同一轴线,可以采用半球型重锤本体,钨丝绳的球形柱头与重锤形成面面接触配合,实时自动找心,有效降低了由于重心轴线偏移而产生晶体晃动的风险,大幅提升单晶硅棒的品质。