谐振式加速度计动态特性研究

微机电系统(MEMS)谐振式加速度计因具有动态范围大、灵敏度高、稳定性高等优点成为研究热点。针对以振荡电路为接口电路的谐振式加速度计进行系统建模和仿真分析的基础上,设计并测试了一种硅MEMS谐振式加速度计样机。仿真和实验结果表明:当闭环振荡接口电路和测频电路带宽远大于传感器自身带宽时,比例因子的频率响应特性由传感器敏感质量块二阶系统频率特性决定。硅MEMS谐振式加速度计样机的静态性能测试结果为量程±12.5 gn,比例因子662. 1 Hz/gn,带宽400 Hz,零偏不稳定性34. 09μgn,噪声22. 18μgn/Hz1/2。