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硅微加速度计测控线路设计及参数调整方法研究
被引量:
3
1
作者
夏敦柱
苏岩
周百令
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2004年第9期41-42,45,共3页
首先介绍了硅微加速度计机械部分的工作原理及电容检测方法,同时分析了整个电路系统框图,然后构建出硅微加速度计系统总体结构,并将机械部分和电路部分在S域进行统一整合。利用MATLAB软件控制工具研究了校正环节对系统稳定性和动态性能...
首先介绍了硅微加速度计机械部分的工作原理及电容检测方法,同时分析了整个电路系统框图,然后构建出硅微加速度计系统总体结构,并将机械部分和电路部分在S域进行统一整合。利用MATLAB软件控制工具研究了校正环节对系统稳定性和动态性能的影响情况。通过大量实验给出了优化参数组合下的开环频率特性和零位漂移特性。最后得出结论:通过对重要校正环节的参数进行正确的调整可以很好地改善系统工作性能,并能提高系统输出的稳定性。
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关键词
硅微加速度计
测控线路
参数调整
闭环系统校正
灵敏度
MEMS
下载PDF
职称材料
我国主动光学试验取得重要进展
2
《红外》
CAS
2003年第2期F004-F004,共1页
据《科学时报》报道,最近,国家重大科学工程项目“大天区面积多目标光纤光谱望远镜(LAMOST)”
关键词
主动光学试验
大天区面积多目标光纤光谱望远镜
LAMOST
技术特点
闭环
校正
光学
系统
下载PDF
职称材料
题名
硅微加速度计测控线路设计及参数调整方法研究
被引量:
3
1
作者
夏敦柱
苏岩
周百令
机构
东南大学仪器科学与工程系
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2004年第9期41-42,45,共3页
文摘
首先介绍了硅微加速度计机械部分的工作原理及电容检测方法,同时分析了整个电路系统框图,然后构建出硅微加速度计系统总体结构,并将机械部分和电路部分在S域进行统一整合。利用MATLAB软件控制工具研究了校正环节对系统稳定性和动态性能的影响情况。通过大量实验给出了优化参数组合下的开环频率特性和零位漂移特性。最后得出结论:通过对重要校正环节的参数进行正确的调整可以很好地改善系统工作性能,并能提高系统输出的稳定性。
关键词
硅微加速度计
测控线路
参数调整
闭环系统校正
灵敏度
MEMS
Keywords
MEMS
Micromachined Accelerometer
Close-loop System Calibration
Sensitivity
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
我国主动光学试验取得重要进展
2
出处
《红外》
CAS
2003年第2期F004-F004,共1页
文摘
据《科学时报》报道,最近,国家重大科学工程项目“大天区面积多目标光纤光谱望远镜(LAMOST)”
关键词
主动光学试验
大天区面积多目标光纤光谱望远镜
LAMOST
技术特点
闭环
校正
光学
系统
分类号
TH743 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅微加速度计测控线路设计及参数调整方法研究
夏敦柱
苏岩
周百令
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2004
3
下载PDF
职称材料
2
我国主动光学试验取得重要进展
《红外》
CAS
2003
0
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职称材料
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