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应用于扩散工艺中的闭管扩散技术
被引量:
7
1
作者
向小龙
彭志虹
+3 位作者
朱晓明
罗卫国
赵加宝
罗亮
《微细加工技术》
EI
2006年第6期63-64,共2页
介绍了一种用于晶体硅太阳能电池p-n结制造的闭管扩散技术,它主要是针对目前使用的开管扩散技术的不足而提出的,实践证明,该技术不仅扩散均匀性优,而且节源、节能、环保,同时它还可以运用于其它半导体材料的扩散掺杂工艺。
关键词
闭管扩散技术
扩散
均匀性
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职称材料
题名
应用于扩散工艺中的闭管扩散技术
被引量:
7
1
作者
向小龙
彭志虹
朱晓明
罗卫国
赵加宝
罗亮
机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
出处
《微细加工技术》
EI
2006年第6期63-64,共2页
文摘
介绍了一种用于晶体硅太阳能电池p-n结制造的闭管扩散技术,它主要是针对目前使用的开管扩散技术的不足而提出的,实践证明,该技术不仅扩散均匀性优,而且节源、节能、环保,同时它还可以运用于其它半导体材料的扩散掺杂工艺。
关键词
闭管扩散技术
扩散
均匀性
Keywords
technology of diffusion in closed tube
uniformity of diffusion
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
应用于扩散工艺中的闭管扩散技术
向小龙
彭志虹
朱晓明
罗卫国
赵加宝
罗亮
《微细加工技术》
EI
2006
7
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职称材料
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