基于集总参数模型的MEMS开关的研究

介绍了采用集总参数模型对MEMS开关进行设计和仿真的方法。在纳米尺度下,卡斯米尔力和范德华力是不可忽略的作用力。讨论了卡斯米尔力、范德华力和静电力共同作用下MEMS的阙值电压及其非线性效果。结果表明:卡斯米尔力、范德华力和静电力共同作用影响了MEMS阙值电压的值。

一种新颖的MEMS光开关测量平台的设计与实现

近年来,随着光电器件的广泛应用,微机械光开关(MEMS)成为核心光交换器件的主流。在研发过程中,其器件检测手段成为人们所关注的话题。文章介绍了一种新颖的测量平台,通过高幅值利用单片机控制脉冲频率的方法来选择器件。与当前同类方法相比,具有精度高、可靠性强、成本低、易操作等特点,具有广阔的使用前景。