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常压化学气相沉积法制备氮化钛薄膜结构和节能性能研究
被引量:
2
1
作者
段钢锋
赵高凌
+5 位作者
林小璇
吴历清
杜丕一
翁文剑
汪建勋
韩高荣
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期847-850,共4页
在普通玻璃基板上利用常压化学气相沉积法在580℃条件下制备得到了氮化钛薄膜。对薄膜的结晶性能、断面形貌、方块电阻以及光学透过率和反射率进行了研究。随着沉积时间的增长,薄膜由单层结构变为一种特殊的双层结构,这种双层结构的形...
在普通玻璃基板上利用常压化学气相沉积法在580℃条件下制备得到了氮化钛薄膜。对薄膜的结晶性能、断面形貌、方块电阻以及光学透过率和反射率进行了研究。随着沉积时间的增长,薄膜由单层结构变为一种特殊的双层结构,这种双层结构的形成是沉积过程中气相成核机制引起的。光谱结果显示制备得到的薄膜具备一定的阳光控制性能。然而,双层薄膜的红外反射率随沉积时间的增长迅速降低,影响了其阳光控制性能。
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关键词
氮化钛
常压化学气相沉积法
沉积时间
结构
阳光控制性能
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职称材料
题名
常压化学气相沉积法制备氮化钛薄膜结构和节能性能研究
被引量:
2
1
作者
段钢锋
赵高凌
林小璇
吴历清
杜丕一
翁文剑
汪建勋
韩高荣
机构
浙江大学材料科学与工程系
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期847-850,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50672086)
文摘
在普通玻璃基板上利用常压化学气相沉积法在580℃条件下制备得到了氮化钛薄膜。对薄膜的结晶性能、断面形貌、方块电阻以及光学透过率和反射率进行了研究。随着沉积时间的增长,薄膜由单层结构变为一种特殊的双层结构,这种双层结构的形成是沉积过程中气相成核机制引起的。光谱结果显示制备得到的薄膜具备一定的阳光控制性能。然而,双层薄膜的红外反射率随沉积时间的增长迅速降低,影响了其阳光控制性能。
关键词
氮化钛
常压化学气相沉积法
沉积时间
结构
阳光控制性能
Keywords
titanium nitride
atmospheric pressure chemical vapor deposition
deposition time
structure
solar control performance
分类号
TQ134 [化学工程—无机化工]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
常压化学气相沉积法制备氮化钛薄膜结构和节能性能研究
段钢锋
赵高凌
林小璇
吴历清
杜丕一
翁文剑
汪建勋
韩高荣
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
2
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职称材料
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