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阴极荧光联合分析系统在III族氮化物研究中的应用
被引量:
2
1
作者
赵红
张荣
+8 位作者
谢自力
刘斌
修向前
陆海
李亮
刘战辉
江若琏
韩平
郑有炓
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期1184-1188,共5页
利用高性能阴极荧光(CL)联合分析系统对几类典型的III族氮化物材料进行测试分析.在光谱研究中,利用CL紫外可见光谱系统,对c面蓝宝石衬底上生长的AlxGa1-xN薄膜进行阴极荧光单色谱测试分析,揭示了CL的激发强度与发光带之间的变化关系.进...
利用高性能阴极荧光(CL)联合分析系统对几类典型的III族氮化物材料进行测试分析.在光谱研究中,利用CL紫外可见光谱系统,对c面蓝宝石衬底上生长的AlxGa1-xN薄膜进行阴极荧光单色谱测试分析,揭示了CL的激发强度与发光带之间的变化关系.进一步研究了掺Mg的Al0.5Ga0.5N薄膜的带边和杂质能级发光机理.利用CL近红外光谱系统对InN薄膜的阴极发光特性进行了研究,验证了InN实际光学带边Eg在0.77eV附近.利用微区分析(CLmapping)系统,可在紫外波段确切地给出材料不同波长的荧光发光区这一特点,对HVPE生长的自支撑GaN衬底进行了SEM和CL微区的对比分析,研究了GaN的位错类型和分布.
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关键词
阴极
荧光
联合分析系统
III族氮化物
阴极荧光特性
下载PDF
职称材料
题名
阴极荧光联合分析系统在III族氮化物研究中的应用
被引量:
2
1
作者
赵红
张荣
谢自力
刘斌
修向前
陆海
李亮
刘战辉
江若琏
韩平
郑有炓
机构
南京大学物理系
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期1184-1188,共5页
基金
国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB6049)
国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA03A103
+4 种基金
2006AA03A118
2006AA03A142)
国家自然科学基金(批准号:60721063
60676057)
高等学校博士学科点专项科研基金(批准号:20050284004)资助项目~~
文摘
利用高性能阴极荧光(CL)联合分析系统对几类典型的III族氮化物材料进行测试分析.在光谱研究中,利用CL紫外可见光谱系统,对c面蓝宝石衬底上生长的AlxGa1-xN薄膜进行阴极荧光单色谱测试分析,揭示了CL的激发强度与发光带之间的变化关系.进一步研究了掺Mg的Al0.5Ga0.5N薄膜的带边和杂质能级发光机理.利用CL近红外光谱系统对InN薄膜的阴极发光特性进行了研究,验证了InN实际光学带边Eg在0.77eV附近.利用微区分析(CLmapping)系统,可在紫外波段确切地给出材料不同波长的荧光发光区这一特点,对HVPE生长的自支撑GaN衬底进行了SEM和CL微区的对比分析,研究了GaN的位错类型和分布.
关键词
阴极
荧光
联合分析系统
III族氮化物
阴极荧光特性
Keywords
cathodoluminescence unitized systems
III-nitride
cathodoluminescence
分类号
O471.5 [理学—半导体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
阴极荧光联合分析系统在III族氮化物研究中的应用
赵红
张荣
谢自力
刘斌
修向前
陆海
李亮
刘战辉
江若琏
韩平
郑有炓
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
2
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职称材料
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