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利用飞行时间质谱研究热阴极蒸发特性 被引量:18
1
作者 刘燕文 田宏 +7 位作者 韩勇 陆玉新 赵青兰 徐振英 孟鸣凤 张哓伟 王晓艳 张洪来 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期437-441,共5页
提出了采用飞行时间质谱(ToFMS)分析阴极蒸发的成分和速率的新方法。利用ToFMS测试了真空本底、氧化物阴极、浸渍阴极、覆膜阴极等各种阴极蒸发物的成分。研究了阴极蒸发速率与阴极温度和加热时间的关系。比较了不同阴极蒸发速率的大小... 提出了采用飞行时间质谱(ToFMS)分析阴极蒸发的成分和速率的新方法。利用ToFMS测试了真空本底、氧化物阴极、浸渍阴极、覆膜阴极等各种阴极蒸发物的成分。研究了阴极蒸发速率与阴极温度和加热时间的关系。比较了不同阴极蒸发速率的大小。实验结果表明ToFMS是一种非常快捷的研究阴极蒸发的实验手段。最后,研究了阴极各种成分离子峰强度与电离电压的关系。 展开更多
关键词 阴极蒸发 飞行时间质谱 蒸发速率 离子流
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阴极蒸发物电子发射现象的研究 被引量:2
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作者 杨靖鑫 阴生毅 +1 位作者 王宇 王欣欣 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第7期1722-1726,共5页
为研究钡钨阴极蒸发物的电子发射现象,采用一种新设计的测试装置,对沉积在多晶钨表面上阴极蒸发物的电子发射曲线进行了采集,利用电子发射显微镜和扫描电镜对蒸发物沉积层的电子发射像、表面形貌和成分进行了分析。结果表明,电子发射曲... 为研究钡钨阴极蒸发物的电子发射现象,采用一种新设计的测试装置,对沉积在多晶钨表面上阴极蒸发物的电子发射曲线进行了采集,利用电子发射显微镜和扫描电镜对蒸发物沉积层的电子发射像、表面形貌和成分进行了分析。结果表明,电子发射曲线分3段,即陡升段、快升段和缓升段。分析认为,发射曲线的3段依次对应着多晶钨表面的晶界及划痕发射、晶面发射和3维岛状发射。实践证明,在覆膜阴极表面构造均匀弥散分布的岛状晶体发射点,可大幅度提高阴极的电子发射性能。 展开更多
关键词 电子发射 钡钨阴极 阴极蒸发 多晶钨
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脉冲行波管阴极蒸发现象的验证与解决 被引量:1
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作者 杨建民 《真空电子技术》 2010年第5期61-63,共3页
针对某型脉冲行波管工作中出现失效的问题,通过试验分析确定失效是由阴极蒸发所致,在对阴极进行试验研究的基础上,找出了阴极的蒸发规律,通过采取改进阴极预处理工艺和适当降低阴极温度等措施,解决了阴极改盐后产生的蒸发问题;而增加行... 针对某型脉冲行波管工作中出现失效的问题,通过试验分析确定失效是由阴极蒸发所致,在对阴极进行试验研究的基础上,找出了阴极的蒸发规律,通过采取改进阴极预处理工艺和适当降低阴极温度等措施,解决了阴极改盐后产生的蒸发问题;而增加行波管测试老炼时间,则提高了行波管工作稳定性和质量一致性。 展开更多
关键词 阴极蒸发 验证 解决
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阴极弧蒸发和高功率脉冲磁控溅射TiAlN涂层的性能研究 被引量:2
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作者 吴明晶 王北川 +2 位作者 张国飞 李佳 陈利 《硬质合金》 CAS 2023年第3期181-186,共6页
为对比研究阴极弧蒸发(CAE)和高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)两种工艺对TiAlN涂层结构、硬度、热稳定性及抗氧化性能的影响,本文采用两种方法制备了成分相同的Ti_(0.38)Al_(0.62)N涂层,使用能量色散X射线光谱仪(EDX)、X射线衍射仪(XRD)、... 为对比研究阴极弧蒸发(CAE)和高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)两种工艺对TiAlN涂层结构、硬度、热稳定性及抗氧化性能的影响,本文采用两种方法制备了成分相同的Ti_(0.38)Al_(0.62)N涂层,使用能量色散X射线光谱仪(EDX)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、纳米压痕仪分析了涂层的成分、微观结构、力学性能、热稳定性和抗氧化性。两种涂层均呈面心立方结构;CAE涂层呈现大量的“液滴”缺陷,而HiPIMS涂层表面质量更优;CAE涂层硬度(~32.7GPa)略高于HiPIMS涂层(~31.8 GPa);HiPIMS涂层具有更高的热稳定性,CAE涂层在800℃达到硬度最高值~36.2 GPa,而HiPIMS涂层在900℃硬度达到最高~34.3 GPa,且随温度的升高,CAE涂层硬度下降更快。HiPIMS涂层表现出更好的抗氧化性能,在800℃氧化30 h后,CAE和HiPIMS制备的两种涂层的氧化层厚度分别为~630.7 nm和~589.3 nm。 展开更多
关键词 TIALN涂层 阴极蒸发 高功率脉冲磁控溅射 硬度 热稳定性 抗氧化性
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空心阴极弧蒸发装置中的等离子体条件的确定
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作者 拾灵 《等离子体应用技术快报》 2000年第9期24-26,共3页
关键词 空心阴极蒸发装置 等离子体
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专利名称:真空电弧蒸发源及使用它的薄膜形成装置
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《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期36-36,共1页
关键词 真空电弧蒸发 薄膜形成装置 阴极蒸发 等离子体 叠层薄膜
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AlTiN-Cu涂层的组织结构和性能
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作者 易继勇 潘晨曦 +4 位作者 陈康华 徐银超 王云志 陈浩 祝昌军 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期935-940,共6页
采用阴极弧离子镀法在硬质合金基体上分别沉积AlTiN与AlTiN-Cu涂层,利用XRD、SEM、EDS、XPS、纳米压痕与切削实验等对比研究AlTiN涂层和AlTiN-Cu涂层的显微组织与切削性能。结果表明:AlTiN涂层为典型柱状晶粒结构,Cu的引入改变AlTiN涂... 采用阴极弧离子镀法在硬质合金基体上分别沉积AlTiN与AlTiN-Cu涂层,利用XRD、SEM、EDS、XPS、纳米压痕与切削实验等对比研究AlTiN涂层和AlTiN-Cu涂层的显微组织与切削性能。结果表明:AlTiN涂层为典型柱状晶粒结构,Cu的引入改变AlTiN涂层的晶粒生长方式与择优取向,细化晶粒组织,降低涂层硬度。对比AlTiN与AlTiN-Cu涂层可转位硬质合金刀片的切削性能发现,由于金属铜的润滑作用,AlTiN-Cu涂层在干式切削时切削寿命提高44%;Cu的引入导致涂层硬度降低,AlTiN涂层在湿式切削时性能更佳。 展开更多
关键词 AlTiN-Cu涂层 阴极蒸发 显微组织 切削性能
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Structure,mechanical and thermal properties of Y-doped CrAlN coatings 被引量:3
8
作者 Jin-lian TIAN Chun HU +2 位作者 Li CHEN Yu-min LOU Ning-ning ZHAO 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第9期2740-2749,共10页
CrAlYN coatings with different Y contents(0,5 and 12 at.%)were deposited by cathodic arc evaporation to investigate the influence of Y-addition on the structure,mechanical and thermal properties of CrAlN coatings by u... CrAlYN coatings with different Y contents(0,5 and 12 at.%)were deposited by cathodic arc evaporation to investigate the influence of Y-addition on the structure,mechanical and thermal properties of CrAlN coatings by using X-ray diffraction,scanning electron microscopy,differential scanning calorimetry,thermal gravimetric analysis and nanoindentation.The structural transformation of single phase cubic Cr_(0.42)Al_(0.58)N and Cr_(0.39)Al_(0.56)Y_(0.05)N coatings to cubic−wurtzite mixed Cr_(0.32)Al_(0.56)Y_(0.12)N coating leads to a drop in hardness from(30.2±0.7)GPa of Cr_(0.42)Al_(0.58)N and(32.0±1.0)GPa of Cr_(0.39)Al_(0.56)Y_(0.05)N to(25.2±0.7)GPa of Cr_(0.32)Al_(0.56)Y_(0.12)N.The incorporation of 5 at.%Y retards the thermal decomposition of CrAlN,verified by the postponed precipitation of w-AlN and N-loss upon annealing.Correspondingly,Cr_(0.39)Al_(0.56)Y_(0.05)N coating consistently exhibits the highest hardness value during thermal annealing.Nevertheless,alloying with Y exerts an adverse effect on the oxidation resistance of CrAlN. 展开更多
关键词 CrAlYN coatings cathodic arc evaporation structural evolution HARDNESS thermal stability oxidation resistance
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TiN/AlTiN纳米多层涂层组织与性能的研究
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作者 邱联昌 杨伦旺 江林 《中国钨业》 CAS 北大核心 2015年第6期49-53,共5页
采用阴极弧蒸发涂层工艺在硬质合金基体上沉积了TiN/AlTiN纳米多层涂层。利用光学显微镜、SEM、XRD、显微硬度计和划痕测试仪、纳米压痕仪,分析了涂层的组织形貌、纳米调制周期、化学成分、物相组成、结合强度和硬度,并对涂层硬质合金... 采用阴极弧蒸发涂层工艺在硬质合金基体上沉积了TiN/AlTiN纳米多层涂层。利用光学显微镜、SEM、XRD、显微硬度计和划痕测试仪、纳米压痕仪,分析了涂层的组织形貌、纳米调制周期、化学成分、物相组成、结合强度和硬度,并对涂层硬质合金刀片进行了铣削合金钢的切削性能测试。研究结果表明:TiN/AlTiN纳米多层涂层具有致密的柱状晶结构,保留了AlTiN单层涂层的(200)择优取向。大尺寸熔滴Ti含量高、小尺寸熔滴Al含量高,涂层中Al含量低于靶材。调制周期为18.4 nm的TiN/AlTiN纳米多层涂层具有良好的结合强度(>100 N)和高的硬度(28.2 GPa)。相同涂层厚度的情况下,TiN/AlTiN纳米多层涂层具有比同类单层涂层更高的耐磨性,表现出更好的切削性能。 展开更多
关键词 TiN/AlTiN 纳米多层涂层 组织与性能 涂层硬质合金 阴极蒸发技术
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涂料施工用阴极电弧蒸发器
10
《涂料指南》 2004年第1期83-83,共1页
在阴极电弧蒸发器是化学活性气体中用电弧将预定物理化学组合物的多组分少料涂覆于切割工具上且形成均匀膜厚的设备阴极是一个圆筒,随着末端的循环圆筒转动。在阴极蒸发末端有附加的相对于圆柱不动的同轴开口。转动棒如铬、钼、锆、铌... 在阴极电弧蒸发器是化学活性气体中用电弧将预定物理化学组合物的多组分少料涂覆于切割工具上且形成均匀膜厚的设备阴极是一个圆筒,随着末端的循环圆筒转动。在阴极蒸发末端有附加的相对于圆柱不动的同轴开口。转动棒如铬、钼、锆、铌被压人不动的开口中。 展开更多
关键词 涂料施工 阴极电弧蒸发 转动棒 循环圆筒
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仪器及设备
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《涂料技术与文摘》 2004年第1期87-87,共1页
关键词 UV不渗透涂层 施工工具 辐射固化 阴极电弧蒸发 聚酰胺复合超微过滤薄膜
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电子器件
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《电子科技文摘》 2006年第11期23-24,共2页
关键词 电子器件 电真空器件 声表面波延迟线 超声延迟线 阴极蒸发 光纤耦合器 熔融拉锥
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