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控制光具尺寸变化
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作者 EricJanssens 李明 《印制电路资讯》 2004年第1期2-4,共3页
理想的光具(底片)是经过精细设计，通过所采用的CAD／CAM先进系统，光绘系统和所应用的高分辩的光致抗蚀剂，进而转移至铜的表面或用于阻焊底片(光具)等作业工序，光具没有发生任何变形。但从实际应用上，理想的光具(底片)是不存在的。... 理想的光具(底片)是经过精细设计，通过所采用的CAD／CAM先进系统，光绘系统和所应用的高分辩的光致抗蚀剂，进而转移至铜的表面或用于阻焊底片(光具)等作业工序，光具没有发生任何变形。但从实际应用上，理想的光具(底片)是不存在的。它将会受到各种因素的直接或简接的影响。 展开更多
关键词 光具 尺寸变化 相对湿度 温度 机械应力 动力学 阻焊底片
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