介质保护铝基高反膜的激光损伤特性研究

激光系统中高反膜的抗激光诱导损伤能力限制激光器有效输出功率的提高.实验采用阻蒸法制备Al膜,采用轮廓仪测试薄膜厚度,利用lambda950测试光谱特性,在激光损伤测试仪上测试薄膜的激光损伤阈值.分析了沉积温度和厚度对薄膜光学特性和抗激光损伤能力的影响.研究结果表明：在不同沉积温度下,采用阻蒸法制备单层Al膜,当沉积温度为200℃时,在1 000-1 400nm波段的平均反射率达到95.59%,加介质保护膜后反射率提高到98%;随着膜层厚度的增加,其抗激光损伤阈值先降低再升高,沉积温度为200℃时,加介质保护膜的铝膜损伤阈值是单层铝膜的2倍;经零几率损伤激光能量辐照后,样片在1 000-1 400nm范围内的平均反射率降低了1%.

金属Ag高反膜的激光损伤特性研究

高反膜的抗激光损伤特性严重影响着激光系统中激光器有效输出功率的提高。因此提高高反膜的抗激光损伤特性就成为了关键。在真空箱式镀膜机中采用阻蒸发法制备Ag膜,电子束蒸发的方法制备介质保护膜,采用Lambda950测试其光学特性,在激光损伤测试仪上测试薄膜的损伤阈值。分析沉积温度对单层银膜光学特性和附着力的影响,不同层数的介质保护膜对Ag膜的光学特性和抗激光损伤能力的影响。研究结果表明：沉积温度分别为室温、120℃、150℃及200℃时制备单层银膜,在沉积温度200℃下,制备的银膜在1 000~1 400nm波段的平均反射率达到了99.17%,此时银膜的激光损伤阈值为1.74J/cm2,在银膜外侧加介质保护膜后其损伤阈值达到了6.874J/cm2,经激光预处理后,损伤阈值提高到10.83J/cm2,是单层金属膜损伤阈值的6倍。