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应用二维微硅片狭缝阵列的阿达玛光谱仪
被引量:
7
1
作者
范玉
吴一辉
+3 位作者
宣明
张平
周连群
庄须叶
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期2724-2729,共6页
为了实现对微弱信号的光谱分析,采用Offner光学结构制作了高光通量高分辨率阿达玛光谱仪,并对光谱仪入射狭缝的类型选择进行分析。利用MEMS加工技术制作出阿达玛微硅片狭缝阵列,分析了入射狭缝的衍射现象,推导出衍射后的光强分布公式。...
为了实现对微弱信号的光谱分析,采用Offner光学结构制作了高光通量高分辨率阿达玛光谱仪,并对光谱仪入射狭缝的类型选择进行分析。利用MEMS加工技术制作出阿达玛微硅片狭缝阵列,分析了入射狭缝的衍射现象,推导出衍射后的光强分布公式。采用Matlab软件对光强分布进行仿真,搭建了实验测量平台验证仿真结果。结果显示,在相同的条件下,阿达玛S15型狭缝阵列的光通量是阿达玛循环S15型狭缝阵列的1.45倍,推导得出的衍射光强分布公式正确,仿真方法准确,测试方法合理,表明阿达玛S型微硅片狭缝阵列适合本文设计的光谱仪。
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关键词
阿达
玛
光谱仪
微硅片
狭缝
阵列
光通量
阿达玛s型狭缝阵列
阿达
玛
循环
s
型
狭缝
阵列
下载PDF
职称材料
题名
应用二维微硅片狭缝阵列的阿达玛光谱仪
被引量:
7
1
作者
范玉
吴一辉
宣明
张平
周连群
庄须叶
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期2724-2729,共6页
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2007AA042102)
国家863高技术研究发展计划B项目(No.2006AA04Z367)
吉林省科技发展基金资助项目(No.20060335)
文摘
为了实现对微弱信号的光谱分析,采用Offner光学结构制作了高光通量高分辨率阿达玛光谱仪,并对光谱仪入射狭缝的类型选择进行分析。利用MEMS加工技术制作出阿达玛微硅片狭缝阵列,分析了入射狭缝的衍射现象,推导出衍射后的光强分布公式。采用Matlab软件对光强分布进行仿真,搭建了实验测量平台验证仿真结果。结果显示,在相同的条件下,阿达玛S15型狭缝阵列的光通量是阿达玛循环S15型狭缝阵列的1.45倍,推导得出的衍射光强分布公式正确,仿真方法准确,测试方法合理,表明阿达玛S型微硅片狭缝阵列适合本文设计的光谱仪。
关键词
阿达
玛
光谱仪
微硅片
狭缝
阵列
光通量
阿达玛s型狭缝阵列
阿达
玛
循环
s
型
狭缝
阵列
Keywords
Hadamard
s
pectrometer
micro-
s
ilicon-
s
lit matrice
luminou
s
flux
Hadamard
s
s
lit
Hadamard cyclic-
s
s
lit
分类号
TH744.1 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
应用二维微硅片狭缝阵列的阿达玛光谱仪
范玉
吴一辉
宣明
张平
周连群
庄须叶
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
7
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职称材料
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