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CMOS-MEMS体硅集成陀螺的系统仿真
1
作者
王佳
钱梁
+1 位作者
杨振川
闫桂珍
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期563-566,共4页
体硅MEMS和CMOS电路的单片集成技术是提高传感器性能的有效途径,但是集成技术会对陀螺的设计和CMOS电路的设计提出更高的要求。通过建立CMOS-MEMS体硅陀螺的等效电学模型,实现了对CMOS-MEMS体硅陀螺的系统级仿真。通过系统仿真,陀螺的...
体硅MEMS和CMOS电路的单片集成技术是提高传感器性能的有效途径,但是集成技术会对陀螺的设计和CMOS电路的设计提出更高的要求。通过建立CMOS-MEMS体硅陀螺的等效电学模型,实现了对CMOS-MEMS体硅陀螺的系统级仿真。通过系统仿真,陀螺的结构部分、电路部分、集成产生的寄生效应以及工艺误差得到了有效的分析,从而能够了解它们相互之间的影响,更好的指导CMOS-MEMS体硅集成器件的设计。
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关键词
陀螺电学模型
CMOS-MEMS体硅
陀螺
工艺误差
系统仿真
下载PDF
职称材料
题名
CMOS-MEMS体硅集成陀螺的系统仿真
1
作者
王佳
钱梁
杨振川
闫桂珍
机构
北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期563-566,共4页
基金
自然科学基金资助(50575001)
文摘
体硅MEMS和CMOS电路的单片集成技术是提高传感器性能的有效途径,但是集成技术会对陀螺的设计和CMOS电路的设计提出更高的要求。通过建立CMOS-MEMS体硅陀螺的等效电学模型,实现了对CMOS-MEMS体硅陀螺的系统级仿真。通过系统仿真,陀螺的结构部分、电路部分、集成产生的寄生效应以及工艺误差得到了有效的分析,从而能够了解它们相互之间的影响,更好的指导CMOS-MEMS体硅集成器件的设计。
关键词
陀螺电学模型
CMOS-MEMS体硅
陀螺
工艺误差
系统仿真
Keywords
equivalent circuit model of gyroscope
CMOS-MEMS bulk gyroscope
manufacturing variations
system level simulation
分类号
V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
CMOS-MEMS体硅集成陀螺的系统仿真
王佳
钱梁
杨振川
闫桂珍
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008
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职称材料
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