电子半导体厂房制程排气系统附着液问题分析

针对制程排气[1]附着液出现的各种问题,为保证工艺机台正常运行不受其影响而进行分析。附着液问题主要包括化学品附着液腐蚀、酸碱处理设备药液腐蚀、风管外壁冷凝液等。以上问题成因,解决措施为今后半导体工程制程排气建造具有指导意义。

甘油制剂检验方法的几项改进

甘油制剂含量测定时，采用精密称取一定克数，再经换算得到毫升数，操作简单、精确，避免了由于甘油的粘度带来的吸取困难和误差。苯酚甘油滴耳液中苯酚鉴别方法，先用乙酸提取再加三氯化铁试液能正确显示苯酚的鉴别反应，避免了不提取时甘油所产生的干扰。