期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
关于氦质谱检漏固定方法的几点讨论
被引量:
2
1
作者
肖汉武
蒋玉齐
《真空与低温》
2020年第6期442-448,共7页
GJB548B-2005方法1014.2密封试验中的固定方法根据器件内腔体积划分5档体积范围,由于划分不够细致,对于某些内腔体积,其拒收极限值R1所对应的等效标准漏率L存在偏松问题,因此对于部分微小漏率器件存在漏检的风险。此外固定方法中的最小...
GJB548B-2005方法1014.2密封试验中的固定方法根据器件内腔体积划分5档体积范围,由于划分不够细致,对于某些内腔体积,其拒收极限值R1所对应的等效标准漏率L存在偏松问题,因此对于部分微小漏率器件存在漏检的风险。此外固定方法中的最小加压压力310 kPa对于大尺寸陶瓷封装而言,有可能导致盖板凹陷、密封损伤等问题。本文分析了现有标准中固定方法和灵活方法的等效标准漏率差异以及大尺寸腔体的加压问题,提出了降压检漏建议。
展开更多
关键词
氦质谱
检
漏
等效标准
漏
率
固定方法
灵活方法
陶瓷封装
降压检漏
下载PDF
职称材料
题名
关于氦质谱检漏固定方法的几点讨论
被引量:
2
1
作者
肖汉武
蒋玉齐
机构
中国电子科技集团公司第五十八研究所
出处
《真空与低温》
2020年第6期442-448,共7页
文摘
GJB548B-2005方法1014.2密封试验中的固定方法根据器件内腔体积划分5档体积范围,由于划分不够细致,对于某些内腔体积,其拒收极限值R1所对应的等效标准漏率L存在偏松问题,因此对于部分微小漏率器件存在漏检的风险。此外固定方法中的最小加压压力310 kPa对于大尺寸陶瓷封装而言,有可能导致盖板凹陷、密封损伤等问题。本文分析了现有标准中固定方法和灵活方法的等效标准漏率差异以及大尺寸腔体的加压问题,提出了降压检漏建议。
关键词
氦质谱
检
漏
等效标准
漏
率
固定方法
灵活方法
陶瓷封装
降压检漏
Keywords
helium mass spectrum leak testing
equivalent standard leak rate
fixed method of testing
flexible method of testing
ceramic package
depressurization and leak detection
分类号
TB774 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
关于氦质谱检漏固定方法的几点讨论
肖汉武
蒋玉齐
《真空与低温》
2020
2
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部