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题名银掺杂忆阻器的开关特性和限流调控
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作者
仉佳艺
赵思濛
杨一鸣
徐娇
唐灵芝
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机构
大连理工大学微电子学院
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第10期1691-1701,共11页
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文摘
为了更好地通过低成本、易操作的方法获得性能优异的忆阻器,解决忆阻器在操作电压和循环次数等方面存在的问题,制备掺杂不同质量AgⅠ的前驱体溶液。采用低成本的低温旋涂工艺完成掺银功能层的制备,再采用蒸镀工艺实现基于Ag/Ag^(+)掺杂有机-无机杂化钙钛矿(OIHP)/氧化铟锡(ITO)的忆阻器的制备。掺杂70 mg AgⅠ的忆阻器与未掺杂忆阻器相比,开启电压由0.3 V降至0.13 V,循环次数提升了约20倍,高达100次以上。此外,通过限流调控,器件可同时实现多级存储功能、非易失阻变开关功能以及阈值选通功能,并且选通器双向阈值电压高度对称,开态电流达到100μA以上,泄漏电流在1 nA以下。该研究有效地优化了忆阻器的操作电压和循环次数。
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关键词
钙钛矿薄膜
忆阻器
低温掺杂
限流调控
AgⅠ
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Keywords
perovskite film
memristor
low-temperature doping
current limiting modulation
AgI
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分类号
TN79
[电子电信—电路与系统]
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